[發(fā)明專(zhuān)利]用于剝離工藝的剝離液機(jī)臺(tái)及其工作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711279770.4
• 申請(qǐng)日: 2017-12-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108054119B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 歐甜;蘇長(zhǎng)義
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 深圳市德力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44265
• 代理人: 林才桂;劉巍

本發(fā)明涉及一種用于剝離工藝的剝離液機(jī)臺(tái)及其工作方法。該用于剝離工藝的剝離液機(jī)臺(tái)包括：多級(jí)順序排列的多個(gè)腔室、與所述多個(gè)腔室對(duì)應(yīng)連接的多個(gè)存儲(chǔ)箱、與所述多個(gè)存儲(chǔ)箱對(duì)應(yīng)連接的多個(gè)過(guò)濾器，所述過(guò)濾器還與下一級(jí)腔室連接，所述存儲(chǔ)箱內(nèi)設(shè)有離心過(guò)濾裝置。本發(fā)明還提供了相應(yīng)的工作方法。本發(fā)明用于剝離工藝的剝離液機(jī)臺(tái)及其工作方法設(shè)計(jì)了一種適用于剝離工藝的改進(jìn)的剝離液機(jī)臺(tái)及工作方法，解決剝離制程傳統(tǒng)剝離液機(jī)臺(tái)過(guò)濾器的堵塞問(wèn)題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于剝離工藝的剝離液機(jī)臺(tái)及其工作方法。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體工藝的領(lǐng)域之中，光刻工藝已經(jīng)是制作過(guò)程中不可或缺的步驟之一；如業(yè)界所公知的，光刻過(guò)程包括下列的幾個(gè)步驟：在基板上方涂布光阻，利用光罩對(duì)基板上的光阻進(jìn)行曝光以定義電子產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的電路圖案(circuit pattern)，如此才能夠?qū)庾柘碌幕暹M(jìn)行接下來(lái)的蝕刻過(guò)程，以形成所需的電路圖案；當(dāng)然，一個(gè)電子產(chǎn)品的完成，必須重復(fù)執(zhí)行數(shù)次上述的步驟，以TFT LCD陣列基板作為例子來(lái)說(shuō)，就需要通過(guò)多道光罩來(lái)進(jìn)行光刻以形成層疊結(jié)構(gòu)。當(dāng)前常用的TFT LCD陣列設(shè)計(jì)中，就有五道光罩必須進(jìn)行光刻，來(lái)分別完成柵極層(gate electrode，GE)，半導(dǎo)體層(semiconductor，SE)，源極/漏極層(sourcedrain，SD)，接觸孔(contact hole，CH)，像素電極層(pixel electrode，PE)五個(gè)不同層的電路圖案。

剝離(Lift-off)工藝通常用于TFT(薄膜晶體管)制程中的光罩縮減，Lift-off制程先形成光阻并圖案化，再在光阻上成膜，移除光阻的同時(shí)，沉積在光阻上的膜層也被剝離，從而完成膜層的圖形化，通過(guò)該制程可以實(shí)現(xiàn)兩次光刻合并為一次以達(dá)到光罩縮減的目的。

然而，由于光阻上沉積了薄膜(該薄膜材料可以為金屬，ITO(氧化銦錫)等用于制備TFT的膜層)，在剝離光阻的同時(shí)薄膜碎屑被帶入剝離液(Stripper)中，大量的薄膜碎屑將會(huì)導(dǎo)致剝離液機(jī)臺(tái)中的過(guò)濾器(filter)堵塞，從而導(dǎo)致機(jī)臺(tái)無(wú)法使用。

參見(jiàn)圖1，其為現(xiàn)有剝離液機(jī)臺(tái)的模塊示意圖，主要包括n級(jí)順序排列的腔室(chamber)1，即腔室_1～腔室_n，各級(jí)腔室1分別設(shè)有相應(yīng)的存儲(chǔ)箱(tank)2，即存儲(chǔ)箱_1～存儲(chǔ)箱_n以及過(guò)濾器3，腔室1、存儲(chǔ)箱2和過(guò)濾器3中的箭頭表示剝離液流動(dòng)方向；各腔室1設(shè)計(jì)為適合進(jìn)行剝離制程，用于向制程中的玻璃基板供給剝離液，具體結(jié)構(gòu)在此不再贅述。

處于剝離制程中的玻璃基板，按照玻璃基板傳送方向從腔室_1開(kāi)始逐級(jí)由各腔室1向玻璃基板供給剝離液以進(jìn)行剝離制程。剝離液從腔室_1進(jìn)入相應(yīng)的存儲(chǔ)箱_1，再經(jīng)過(guò)相應(yīng)的第一個(gè)過(guò)濾器3過(guò)濾后進(jìn)入第二級(jí)的腔室_2，再經(jīng)過(guò)第二個(gè)過(guò)濾器3后進(jìn)入第三級(jí)的腔室_3……。

現(xiàn)有的剝離液機(jī)臺(tái)在進(jìn)行剝離工藝時(shí)，因剝離液中含有大量大面積薄膜碎屑4而容易導(dǎo)致第一、二級(jí)腔室1的過(guò)濾器3堵塞嚴(yán)重，使得機(jī)臺(tái)無(wú)法使用。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種用于剝離工藝的剝離液機(jī)臺(tái)，解決剝離制程中過(guò)濾器堵塞的問(wèn)題。

本發(fā)明的另一目的在于提供一種用于剝離工藝的剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法，解決剝離制程中過(guò)濾器堵塞的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種用于剝離工藝的剝離液機(jī)臺(tái)，包括：多級(jí)順序排列的多個(gè)腔室、與所述多個(gè)腔室對(duì)應(yīng)連接的多個(gè)存儲(chǔ)箱、與所述多個(gè)存儲(chǔ)箱對(duì)應(yīng)連接的多個(gè)過(guò)濾器，所述過(guò)濾器還與下一級(jí)腔室連接，所述存儲(chǔ)箱內(nèi)設(shè)有離心過(guò)濾裝置，其中：

所述多個(gè)腔室用于按照處于剝離制程的玻璃基板的傳送方向逐級(jí)向玻璃基板提供剝離液；

所述存儲(chǔ)箱用于收集和存儲(chǔ)來(lái)自腔室的經(jīng)歷剝離制程的剝離液；

所述過(guò)濾器用于過(guò)濾來(lái)自存儲(chǔ)箱的剝離液并且輸送給下一級(jí)腔室；