[發明專利]一種基于高低溫沖擊系統的智能氣罩

在審

• 申請號: 201711276827.5
• 申請日: 2017-12-06
• 公開（公告）號: CN108073192A
• 公開（公告）日: 2018-05-25
• 發明（設計）人: 郭偉;曹巍;陳雷剛
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G05D7/06
• 分類號: G05D7/06
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 智云

本發明提出一種基于高低溫沖擊系統的智能氣罩，包括耐高低溫密封環，氣體流量傳感器，水平驅動機構，攪拌風扇，電機，固定支撐座，其中所述耐高低溫密封環設置于所述固定支撐座底部，所述氣體流量傳感器和水平驅動機構設置于所述耐高低溫密封環上，所述攪拌風扇通過電機設置于智能氣罩內部。本發明提出的基于高低溫沖擊系統的智能氣罩，能夠減少高低溫氣流直接沖擊測試樣品，提高測試數據準確性，減少高低溫氣流外泄，降低測試噪聲，減少因高低溫氣流外泄引發二次傷害，提高測試安全性。

技術領域

本發明涉及高低溫沖擊系統測試氣罩自動控制裝置，且特別涉及一種基于高低溫沖擊系統的智能氣罩。

背景技術

目前半導體業界使用的高低溫沖擊系統采用高低溫氣流直接沖擊測試樣品，這樣造成測試樣品各部分溫度分布不均勻，導致各部分受力不均勻，影響測試樣品良率和測試數據的準確性。一些測試工程師給單孔噴頭加裝多孔噴頭減少氣流對測試樣品直接沖擊的影響。但并沒有多大改善，測試樣品各部分存在溫度差，無法模擬測試樣品工作環境。

目前高低溫測試系統的氣罩與測試板接觸的密封性要通過測試工程師的反復的調節，費時費力。當遇到大規模樣品測試時無法保證接觸密封型，因密封不完善性導致高低溫氣流外泄引起噪聲，高溫氣流(一百二十五度)燙傷測試員工。低溫氣流(零下四十度)液化產生水珠流入下方機臺引起線路短路和漏電，進而危害測試員工和機臺安全。

發明內容

本發明提出一種基于高低溫沖擊系統的智能氣罩，解決以下問題：

(1)因高低溫氣流直接沖擊測試樣品，引發樣品測試數據的不準確性。

(2)減少因高溫氣流外泄引發的燙傷，低溫氣體液化引發的機臺漏電和短路事故。

(3)因高低溫氣流外泄，引發的測試噪聲。

為了達到上述目的，本發明提出一種基于高低溫沖擊系統的智能氣罩，包括耐高低溫密封環，氣體流量傳感器，水平驅動機構，攪拌風扇，電機，固定支撐座，其中所述耐高低溫密封環設置于所述固定支撐座底部，所述氣體流量傳感器和水平驅動機構設置于所述耐高低溫密封環上，所述攪拌風扇通過電機設置于智能氣罩內部。

進一步的，所述攪拌風扇將高低溫沖擊系統輸入的高低溫氣流攪拌均勻。

進一步的，所述氣體流量傳感器和水平驅動機構的數量為多個，均勻并對稱地設置于所述耐高低溫密封環上。

進一步的，所述氣體流量傳感器和水平驅動機構一一對應，每個氣體流量傳感器和對應的水平驅動機構形成一組機構，設置于所述耐高低溫密封環上。

進一步的，所述氣體流量傳感器和水平驅動機構的數量分別為6個，形成6組機構均勻對稱地設置于所述耐高低溫密封環上。

進一步的，當所述氣體流量傳感器檢測到異常氣流存在時，根據傳感器輸出信號，相對應位置的水平驅動機構工作推動氣罩邊緣的所述耐高低溫密封環，增加氣罩的密封性。

本發明提出的基于高低溫沖擊系統的智能氣罩，能夠減少高低溫氣流直接沖擊測試樣品，提高測試數據準確性，減少高低溫氣流外泄，降低測試噪聲，減少因高低溫氣流外泄引發二次傷害，提高測試安全性。

附圖說明

圖1所示為本發明較佳實施例的基于高低溫沖擊系統的智能氣罩結構示意圖。

圖2所示為本發明較佳實施例的智能氣罩仰視結構示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖給出本發明的具體實施方式，但本發明不限于以下的實施方式。根據下面說明和權利要求書，本發明的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用于方便、明晰地輔助說明本發明實施例的目的。