[發(fā)明專利]一種干涉儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711275472.8
• 申請日: 2017-12-06
• 公開（公告）號: CN107907980B
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發(fā)明（設計）人: 朱偉達;王睿;張春峰;王國棟;肖敏
• 申請（專利權）人: 南京大學
• 主分類號: G02B17/06
• 分類號: G02B17/06
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種干涉儀，其特征在于，包括：

基座；

形成在所述基座上的光線傳播部，包括第一光線傳播路徑和第二光線傳播路徑；沿所述第一光線傳播路徑上，依次設置有第二反射鏡、第三反射鏡以及第四反射鏡；沿所述第二光線傳播路徑上，依次設置有第一反射鏡以及光學延遲線；所述光線傳播部還包括第一分束鏡和第二分束鏡；所述第一分束鏡設置于所述第一光線傳播路徑的起點處和所述第二光線傳播路徑的起點處，以使入射到干涉儀內(nèi)部的光線分為第一子光束和第二子光束；所述第一子光束沿所述第一光線傳播路徑傳播，所述第二子光束沿所述第二光線傳播路徑傳播；所述第二分束鏡設置于所述第一光線傳播路徑的終點處和所述第二光線傳播路徑的終點處，以將所述第一子光束和所述第二子光束合并；

形成在所述基座上的相位鎖定模塊，與所述第四反射鏡相連接，用于調(diào)節(jié)所述第四反射鏡的位置，以使所述第一子光束和所述第二子光束的相位差小于或等于0.06rad；

所述第一光線傳播路徑和所述第二光線傳播路徑的光程差小于或等于6nm。

2.根據(jù)權利要求1所述的干涉儀，其特征在于，還包括相位調(diào)節(jié)裝置；

所述相位調(diào)節(jié)裝置包括：補償片、第一楔形鏡和第二楔形鏡；

所述補償片位于所述第一光線傳播路徑上；

所述第一楔形鏡和所述第二楔形鏡位于所述第二光線傳播路徑上；

所述補償片、所述第一楔形鏡和所述第二楔形鏡的材料相同；

所述第一子光束沿所述第一光線傳播路徑傳播時透過所述補償片方向的厚度等于所述第二子光束沿所述第二光線傳播路徑傳播時透過所述第一楔形鏡的厚度和所述第二楔形鏡的厚度之和；

所述第一楔形鏡和所述第二楔形鏡的尺寸相同。

3.根據(jù)權利要求1所述的干涉儀，其特征在于，

所述相位鎖定模塊包括第一光闌，光電探測器、反饋電路以及促動裝置；

所述第一光闌設置于所述第二分束鏡的第一側，用于過濾脈沖激光；

所述光電探測器設置于所述第一光闌背離與所述第二分束鏡的第二側；

所述反饋電路一端與所述光電探測器相連，另一端與所述促動裝置相連；

所述促動裝置與所述第四反射鏡相連接。

4.根據(jù)權利要求3所述的干涉儀，其特征在于，還包括示波器，

所述示波器與所述光電探測器相連，用于對所述光電探測器形成的電信號進行顯示。

5.根據(jù)權利要求1所述的干涉儀，其特征在于，還包括第二光闌，位于所述第二分束鏡的第二側，用于過濾連續(xù)激光。

6.根據(jù)權利要求1所述的干涉儀，其特征在于，還包括第三分束鏡、光譜診斷裝置；

所述第三分束鏡設置于所述第二光闌背離所述第二分束鏡的第一側；

所述光譜診斷裝置與所述第三分束鏡相對設置，用于獲取經(jīng)所述第三分束鏡反射的脈沖激光的干涉圖譜。

7.根據(jù)權利要求1所述的干涉儀，其特征在于，還包括脈沖激光器和連續(xù)激光器，以使由所述脈沖激光器形成的脈沖激光和由所述連續(xù)激光器形成的連續(xù)激光均能夠入射到所述第一分束鏡。