[發明專利]金屬板、金屬板的制造方法、和使用金屬板制造蒸鍍掩模的方法

在審

• 申請號: 201711266191.6
• 申請日: 2014-01-10
• 公開（公告）號: CN107858643A
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發明（設計）人: 池永知加雄
• 申請（專利權）人: 大日本印刷株式會社
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/56;C23C14/58;H01L51/56
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 丁香蘭,龐東成

1.一種金屬板的制造方法，該金屬板通過形成2個以上貫通孔而用于制造蒸鍍掩模，其中，

所述蒸鍍掩模的所述貫通孔通過對所述金屬板進行蝕刻而形成，

所述金屬板的制造方法具備下述工序：

軋制工序，在該工序中，對母材進行軋制而得到所述金屬板；和

切斷工序，在該工序中，以預定范圍切掉所述金屬板的寬度方向的兩端，

所述切斷工序后的所述金屬板至少局部具有起伏形狀，該起伏形狀由于該金屬板的長度方向的長度對應其寬度方向的位置而有所不同，

將所述切斷工序后的所述金屬板的所述長度的最小值稱為基準長度，將所述切斷工序后的所述金屬板的寬度方向的各位置處的所述金屬板的所述長度與所述基準長度之差相對于所述基準長度的比例稱為延伸差率時，滿足以下條件(1)～(3)，

(1)所述切斷工序后的所述金屬板的寬度方向的中央部分的所述延伸差率為10×10^-5以下；

(2)所述切斷工序后的所述金屬板的寬度方向的端部的所述延伸差率為20×10^-5以下；和

(3)所述端部的所述延伸差率大于所述中央部分的所述延伸差率的最大值；

所述中央部分包括所述切斷工序后的所述金屬板的寬度方向的中央部，其是占所述金屬板的寬度的40％的部分。

2.如權利要求1所述的金屬板的制造方法，其中，該制造方法進一步具備退火工序，在該工序中，將通過所述軋制工序得到的所述金屬板退火，以除去所述金屬板的內部應力。

3.如權利要求2所述的金屬板的制造方法，其中，一邊在長度方向拉伸所述軋制后的母材，一邊實施所述退火工序。

4.如權利要求2所述的金屬板的制造方法，其中，在所述軋制后的母材卷取于芯材上的狀態下實施所述退火工序。

5.如權利要求1～4任一項所述的金屬板的制造方法，其中，所述母材的熱膨脹系數與基板的熱膨脹系數為同等的值，該基板上隔著由所述金屬板制造的蒸鍍掩模而成膜有蒸鍍材料。

6.如權利要求1所述的金屬板的制造方法，其中，所述母材含有因瓦合金材料。

7.一種金屬板，該金屬板是通過形成2個以上貫通孔而用于制造蒸鍍掩模的金屬板，其中，

所述金屬板至少局部具有起伏形狀，該起伏形狀由于該金屬板的長度方向的長度對應其寬度方向的位置而有所不同，

將所述金屬板的所述長度的最小值稱為基準長度，將所述金屬板的寬度方向的各位置處的所述金屬板的所述長度與所述基準長度之差相對于所述基準長度的比例稱為延伸差率時，滿足以下條件(1)～(3)，

(1)所述金屬板的寬度方向的中央部分的所述延伸差率為10×10^-5以下；

(2)所述金屬板的寬度方向的端部的所述延伸差率為20×10^-5以下；和

(3)所述端部的所述延伸差率大于所述中央部分的所述延伸差率的最大值；

所述中央部分包括所述金屬板的寬度方向的中央部，其是占所述金屬板的寬度的40％的部分。

8.如權利要求7所述的金屬板，其中，所述金屬板的熱膨脹系數與基板的熱膨脹系數為同等的值，所述基板上隔著由所述金屬板制造的蒸鍍掩模而成膜有蒸鍍材料。

9.如權利要求7所述的金屬板，其中，所述金屬板含有因瓦合金材料。

10.一種蒸鍍掩模的制造方法，所述方法包括：供給延伸成帶狀的長金屬板的工序；將利用照相平版印刷技術的蝕刻實施于長金屬板，在長金屬板上從第1面側形成第1凹部的工序；和，將利用了照相平版印刷技術的蝕刻實施于長金屬板，在長金屬板上從第2面側形成第2凹部的工序，并且，形成于長金屬板的第1凹部和第2凹部相互相通，從而在長金屬板上制作出貫通孔，第2凹部的形成工序在第1凹部的形成工序之前實施，并且在第2凹部的形成工序與第1凹部的形成工序之間進一步設置有對所制作的第2凹部進行密封的工序。