[發(fā)明專利]磷擴(kuò)散均勻性的修復(fù)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711263983.8
• 申請(qǐng)日: 2017-12-05
• 公開（公告）號(hào): CN107993930A
• 公開（公告）日: 2018-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樂雄英;李靜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州潤陽光伏科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/223
• 分類號(hào): H01L21/223;H01L31/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種磷擴(kuò)散均勻性的修復(fù)方法，其特征在于，該方法依次包括如下步驟：

（1）氧化；

（2）第一次沉積；

（3）第二次沉積；

（4）第三次沉積；

（5）推結(jié)；

且上述步驟（1）~（5）于不相同的溫度條件下完成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷擴(kuò)散均勻性的修復(fù)方法，其特征在于，該氧化步驟的方法是：將硅片放入擴(kuò)散石英爐管中，保持載舟溫度750-780℃，以10-15℃/min的速率升溫至800℃進(jìn)行氧化，按照氧氣流量2000sccm，氮?dú)饬髁?000sccm的條件進(jìn)行氧化，氧化時(shí)間180s。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷擴(kuò)散均勻性的修復(fù)方法，其特征在于，該第一次沉積步驟的方法是，按照溫度800℃，氮?dú)饬髁?000sccm，氧氣流量800sccm，磷源流量780sccm的條件進(jìn)行沉積，沉積時(shí)間300s。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷擴(kuò)散均勻性的修復(fù)方法，其特征在于，該第二次沉積步驟的方法是，按照溫度850℃，氮?dú)饬髁?000sccm，氧氣流量900sccm，磷源流量850sccm的條件進(jìn)行沉積，沉積時(shí)間510s。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷擴(kuò)散均勻性的修復(fù)方法，其特征在于，該第三次沉積步驟的方法是，按照溫度850℃，氮?dú)饬髁?000sccm，氧氣流量650sccm，磷源流量780sccm的條件進(jìn)行沉積，沉積時(shí)間480s。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷擴(kuò)散均勻性的修復(fù)方法，其特征在于，該推結(jié)步驟的方法是，按照溫度835℃，氮?dú)饬髁?000sccm，氧氣流量2500sccm的條件進(jìn)行沉積，推進(jìn)時(shí)間540s。