[發明專利]一種真空光學檢測系統

在審

• 申請號: 201711252416.2
• 申請日: 2017-12-01
• 公開（公告）號: CN107782537A
• 公開（公告）日: 2018-03-09
• 發明（設計）人: 賈平;郭疆;李憲斌;邵明東;朱磊;王浩
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01M11/04
• 分類號: G01M11/04
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙)44316
• 代理人: 趙勍毅

1.一種真空光學檢測系統，其特征在于，包括空間光學遙感器、低氣壓模擬裝置、干涉儀、用于容納所述干涉儀的真空容器、用于調整所述空間光學遙感器和所述真空容器的精密調整裝置，所述精密調整裝置和所述真空容器均容納于所述低氣壓模擬裝置中，所述低氣壓模擬裝置為具有一開口的封閉容器，所述真空容器與所述開口之間柔性密閉連通，外界大氣通過所述開口與所述真空容器連通，所述低氣壓模擬裝置為所述空間光學遙感器提供低氣壓環境，通過所述精密調整裝置調整所述空間光學遙感器與所述真空容器的位置，以使得所述空間光學遙感器的焦面和所述干涉儀的焦面之間按照預設位置關系對準。

2.根據權利要求1所述的真空光學檢測系統，其特征在于，還包括真空泵，所述真空泵用于所述低氣壓模擬裝置抽真空。

3.根據權利要求1所述的真空光學檢測系統，其特征在于，所述開口和所述真空容器之間設有波紋管，所述波紋管分別與所述開口及所述真空容器密閉連通，所述真空容器通過所述波紋管、所述開口與外界大氣連通。

4.根據權利要求1所述的真空光學檢測系統，其特征在于，所述真空容器朝向所述空間光學遙感器一側設有光學窗口，所述干涉儀通過所述光學窗口對所述空間光學遙感器的光學系統波相差進行真空檢測。

5.根據權利要求1所述的真空光學檢測系統，其特征在于，所述低氣壓模擬裝置為立方體結構的密閉容器。

6.根據權利要求1所述的真空光學檢測系統，其特征在于，所述真空容器為桶形結構，所述桶形結構的內部空間大于所述干涉儀的包絡尺寸。

7.根據權利要求2所述的真空光學檢測系統，其特征在于，所述低氣壓模擬裝置的側壁上還設有抽氣口，所述抽氣口可與所述真空泵連通。

8.根據權利要求3所述的真空光學檢測系統，其特征在于，所述真空容器上設有法蘭，所述法蘭與所述波紋管之間通過密封圈密閉連通。

9.根據權利要求8所述的真空光學檢測系統，其特征在于，所述端蓋與所述容器本體之間采用螺紋連接。

10.根據權利要求9所述的真空光學檢測系統，其特征在于，所述端蓋和所述容器本體之間還設有密封圈。