[發(fā)明專(zhuān)利]真空腔及真空腔的制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711251569.5
• 申請(qǐng)日: 2017-12-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108015496B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-05-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高少飛
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京創(chuàng)昱科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B23P15/00
• 分類(lèi)號(hào): B23P15/00
• 代理公司: 北京維澳專(zhuān)利代理有限公司 11252
• 代理人: 周放;姜溯洲

本發(fā)明公開(kāi)了一種真空腔及真空腔的制備方法，其中真空腔具有支撐件和腔室壁，其中，所述腔室壁上形成有定位面；所述支撐件的底面上形成有凹陷的潔凈區(qū)，所述底面位于所述定位面上，并且，所述支撐件與所述腔室壁密封連接；在所述支撐件的頂面上形成有第一螺紋孔，所述第一螺紋孔貫通至所述潔凈區(qū)。本發(fā)明的真空腔中，底面與定位面密封連接，沒(méi)有邊縫，不會(huì)藏污納垢，并且底面上具有潔凈區(qū)，頂面上具有與潔凈區(qū)貫通的第一螺紋孔，能夠順暢的放氣，不會(huì)窩氣藏氣，同時(shí)，通過(guò)第一螺紋孔可以直接對(duì)清潔區(qū)進(jìn)行清洗，從而整體上提高了真空腔內(nèi)的潔凈度，避免零件的污染。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種真空腔及真空腔的制備方法。

背景技術(shù)

目前，在真空行業(yè)中真空系統(tǒng)設(shè)備根據(jù)產(chǎn)品需求和工作場(chǎng)合對(duì)設(shè)備關(guān)鍵部件的潔凈度要求不同。真空腔作為設(shè)備中的一個(gè)關(guān)鍵部件，是各種執(zhí)行部件的承載體，同時(shí)它也提供了一種真空潔凈環(huán)境。

現(xiàn)有的真空腔內(nèi)部支撐件主要由圓柱體、長(zhǎng)方體或者組合形狀的零件組成，它們是直接焊接在腔室壁上的，與腔室壁有較大的接觸面積，且考慮到放氣的要求，這些零件與腔室壁間的焊接都是斷續(xù)焊接。這樣的結(jié)構(gòu)方式使兩者之間形成狹窄的半封閉空間，很容易藏污納垢且不易清除，也不利于很好的放氣。這在一般真空或潔凈度要求不高的設(shè)備使用是可以的，但對(duì)于太陽(yáng)能鍍膜設(shè)備來(lái)說(shuō)，會(huì)造成局部藏氣、隱藏雜質(zhì)難以清除、雜質(zhì)隨處飄散的問(wèn)題，還會(huì)對(duì)成膜質(zhì)量造成影響。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種真空腔及真空腔的制備方法，解決支撐零件局部藏污、藏氣的問(wèn)題，且容易清洗，不會(huì)污染其他零件。

本發(fā)明的真空腔，具有支撐件和腔室壁，其中，所述腔室壁上形成有定位面；所述支撐件的底面上形成有凹陷的潔凈區(qū)，所述底面位于所述定位面上，并且，所述支撐件與所述腔室壁密封連接；在所述支撐件的頂面上形成有第一螺紋孔，所述第一螺紋孔貫通至所述潔凈區(qū)。

如上所述的真空腔，其中，所述支撐件與所述腔室壁滿焊連接。

如上所述的真空腔，其中，所述第一螺紋孔至少具有兩個(gè)。

如上所述的真空腔，其中，在所述頂面上還設(shè)置有第二螺紋孔，所述第二螺紋孔與所述潔凈區(qū)之間阻斷。

如上所述的真空腔，其中，在所述支撐件上形成有放氣通孔，所述放氣通孔貫通所述支撐件，且與所述第二螺紋孔底部相通。

如上所述的真空腔，其中，所述定位面為形成在所述腔室壁上的凹陷面。

如上所述的真空腔，其中，所述定位面凹陷的深度為1mm-2mm。

如上所述的真空腔，其中，所述潔凈區(qū)凹陷的深度為2mm-5mm；所述潔凈區(qū)呈錐形的敞口結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明真空腔的制備方法，包括在腔室壁上形成定位面；在支撐件的底面上形成凹陷的潔凈區(qū)，在所述支撐件的頂面上形成貫通至所述潔凈區(qū)的第一螺紋孔；將所述底面放置于所述定位面上，并將所述支撐件與腔室壁密封連接；使用螺釘與所述第一螺紋孔螺接后，研磨加工所述頂面。

如上所述的真空腔的制備方法，其中，所述支撐件與所述腔室壁滿焊焊接，和/或，在所述螺釘與所述第一螺紋孔之間設(shè)置有密封墊。

本發(fā)明的真空腔中，底面與定位面密封連接，沒(méi)有邊縫，不會(huì)藏污納垢，并且底面上具有潔凈區(qū)，頂面上具有與潔凈區(qū)貫通的第一螺紋孔，能夠順暢的放氣，不會(huì)窩氣藏氣，同時(shí)，通過(guò)第一螺紋孔可以直接對(duì)清潔區(qū)進(jìn)行清洗，從而整體上提高了真空腔內(nèi)的潔凈度，避免零件的污染。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明真空腔中支撐件部分的示意圖；

圖2為本發(fā)明真空腔中腔室壁部分的示意圖；

圖3為本發(fā)明真空腔的剖視圖；