[發(fā)明專利]空心陰極燈的波長標(biāo)定方法及裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711249595.4
• 申請日: 2017-12-01
• 公開（公告）號: CN108061601B
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馮國進(jìn);甘海勇;吳厚平;梁鳳臣;林延?xùn)|
• 申請（專利權(quán)）人: 中國計(jì)量科學(xué)研究院
• 主分類號: G01J3/45
• 分類號: G01J3/45
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩;李相雨

1.一種空心陰極燈的波長標(biāo)定方法，其特征在于，包括：

S1，基于修正后的邁克爾遜干涉儀，采集待標(biāo)定的空心陰極燈發(fā)出的光信號的第一光譜曲線，并從所述第一光譜曲線中提取第一峰值波長，所述邁克爾遜干涉儀具有預(yù)設(shè)尺寸的口徑，所述預(yù)設(shè)尺寸的口徑為大口徑；

S2，基于所述修正后的邁克爾遜干涉儀的修正曲線，確定所述第一峰值波長的準(zhǔn)確值，以完成對所述空心陰極燈的波長標(biāo)定；

所述方法還包括：

獲取所述修正后的邁克爾遜干涉儀在擋光狀態(tài)下對應(yīng)的第三光譜曲線，并將所述第三光譜曲線作為基準(zhǔn)校正所述第一光譜曲線，利用所述第一光譜曲線中的光強(qiáng)度值減去所述第三光譜曲線中對應(yīng)波長處的光強(qiáng)度值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述邁克爾遜干涉儀中包括：

具有所述預(yù)設(shè)尺寸的口徑的固定反射鏡、可動(dòng)反射鏡和分束器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)尺寸至少為100mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

基于所述邁克爾遜干涉儀，采集不同峰值波長的預(yù)設(shè)數(shù)量個(gè)穩(wěn)頻激光器發(fā)出的激光的第二光譜曲線，并分別從每個(gè)第二光譜曲線中提取第二峰值波長；

根據(jù)每一第二峰值波長與對應(yīng)的穩(wěn)頻激光器的峰值波長之間的差值，確定所述邁克爾遜干涉儀在整個(gè)工作波段上任意波長處的修正系數(shù)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，在所述穩(wěn)頻激光器前設(shè)置有濾光片，所述濾光片用于減小所述穩(wěn)頻激光器發(fā)出的激光的強(qiáng)度。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)數(shù)量個(gè)為3個(gè)，3個(gè)不同峰值波長分別為530.649nm、632.817nm和1063.854nm。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)每一第二峰值波長與對應(yīng)的穩(wěn)頻激光器的峰值波長之間的差值，確定所述邁克爾遜干涉儀在整個(gè)工作波段上任意波長處的修正系數(shù)，具體包括：

將所述預(yù)設(shè)數(shù)量的差值進(jìn)行多次曲線擬合，根據(jù)得到的擬合函數(shù)確定所述邁克爾遜干涉儀在整個(gè)工作波段上任意波長處的修正系數(shù)。

8.一種空心陰極燈的波長標(biāo)定裝置，其特征在于，包括：

第一峰值波長獲取模塊，用于基于修正后的邁克爾遜干涉儀，采集待標(biāo)定的空心陰極燈發(fā)出的光信號的第一光譜曲線，并從所述第一光譜曲線中提取第一峰值波長，所述邁克爾遜干涉儀具有預(yù)設(shè)尺寸的口徑，所述預(yù)設(shè)尺寸的口徑為大口徑；

準(zhǔn)確值確定模塊，用于基于所述修正后的邁克爾遜干涉儀的修正曲線，確定所述第一峰值波長的準(zhǔn)確值，以完成對所述空心陰極燈的標(biāo)定；

還包括：

校正模塊，用于獲取所述修正后的邁克爾遜干涉儀在擋光狀態(tài)下對應(yīng)的第三光譜曲線，并將所述第三光譜曲線作為基準(zhǔn)校正所述第一光譜曲線，利用所述第一光譜曲線中的光強(qiáng)度值減去所述第三光譜曲線中對應(yīng)波長處的光強(qiáng)度值。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于，還包括：修正模塊，所述修正模塊用于：

基于所述邁克爾遜干涉儀，采集不同峰值波長的預(yù)設(shè)數(shù)量個(gè)穩(wěn)頻激光器發(fā)出的激光的第二光譜曲線，并分別從每個(gè)第二光譜曲線中提取第二峰值波長；

根據(jù)每一第二峰值波長與對應(yīng)的穩(wěn)頻激光器的峰值波長之間的差值，確定所述邁克爾遜干涉儀在整個(gè)工作波段上任意波長處的修正系數(shù)。