[發(fā)明專利]晶圓測試監(jiān)控接觸電阻按需清針的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711249021.7
• 申請日: 2017-12-01
• 公開（公告）號: CN108010861A
• 公開（公告）日: 2018-05-08
• 發(fā)明（設計）人: 鄧維維;劉遠華;鈄曉鷗;牛勇;王錦
• 申請（專利權）人: 上海華嶺集成電路技術股份有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;G01N27/20
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 吳寶根;徐穎

1.一種晶圓測試監(jiān)控接觸電阻按需清針的方法，其特征在于，具體包括如下步驟：

1)小批量測試分析，求出探針前端芯片管腳內(nèi)部二極管壓降：首先，對探針臺不設置清針，進行小批量的量產(chǎn)測試，對開/短路的測試結(jié)果進行分析，得到二極管壓降U2；

2)在晶圓測試中接觸測試后面，以及對接觸阻抗敏感的測試項前面，加入接觸阻抗的測試項Cres：給焊盤施加測試電流I1，測試焊盤管腳的電壓為U1，對結(jié)果進行處理接觸阻抗計算Cres＝(U1-|U2|)/|I1|，設置的極限電阻值，并進行Cres值判斷，即Cres值一旦大于極限電阻值則判定該項失效，并分配對應編號；

3)對探針臺進行設置，設置失效限制次數(shù)，如有連續(xù)的Cres項失效，并達到失效限制次數(shù)，則觸發(fā)探針臺發(fā)出對失效編號的探針進行清針操作指令；

4)探針臺進行清針操作后，繼續(xù)進行Cres測試，如該Cres測試通過，則說明清針到位；如仍有連續(xù)失效，則會再次觸發(fā)清針操作，直到通過。

2.根據(jù)權利要求1所述晶圓測試監(jiān)控接觸電阻按需清針的方法，其特征在于，所述步驟1)具體分析方法：給焊盤施加測試電流值，測試焊盤管腳的電壓，設置限制電壓范圍；看出測試開/短路穩(wěn)定的結(jié)果電壓值在限制電壓范圍內(nèi)，得到的電壓值即為該批次產(chǎn)品二極管的壓降U2。