[發明專利]X射線成像中的統計分析

在審

• 申請號: 201711248860.7
• 申請日: 2017-12-01
• 公開（公告）號: CN108318513A
• 公開（公告）日: 2018-07-24
• 發明（設計）人: W.K.富拉加;A.M.金斯頓;G.R.姆耶斯;M.帕茲雷斯;T.K.瓦斯洛特
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: G01N23/207
• 分類號: G01N23/207;G01N23/203;G01N23/22
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 周學斌;陳嵐

1.一種使用X射線來分析樣本的方法，該方法包括以下步驟：

- 用輸入X射線照射樣本；

- 使用檢測器來檢測響應于所述照射從該樣本放射出的輸出X射線的通量，

其特征在于，該方法包括以下步驟：

- 使用檢測器來截獲所述通量的至少一部分以便產生該樣本的至少一部分的像素化圖像I_j的集合{I_j}，藉此，該集合{I_j}的勢為M > 1；

- 針對每個圖像I_j中的每個像素p_i，確定累積信號強度S_ij，從而產生相關聯的信號強度集合{S_ij}；

- 使用集合{S_ij}來計算以下值：

? 每個像素位置i的平均信號強度S；

? 每個像素位置i的S中的方差σ²_S.

- 使用這些值S和σ²_S來產生每個像素的平均X射線光子能量E的圖。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，借助于每個像素位置i的函數相關性E ~ σ_S²/S來產生所述圖。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其中，通過迭代地重復藉此在繼續捕獲整個第（n+1）個圖像I_n+1之前捕獲整個第n個圖像I_n的過程來產生集合{I_j}。

4.根據權利要求1或2所述的方法，其中，通過迭代地重復藉此在繼續至第（n+1）個像素位置之前在第n個像素位置處收集M多個不同的檢測器樣品的過程來產生集合{I_j}。

5.根據權利要求1-4中的任一項所述的方法，其是作為X射線層析成像過程的一部分來執行的。

6.根據權利要求5所述的方法，其中，E的所述值用于執行射束硬化校正。

7.根據權利要求5或6所述的方法，其中，E的所述值用于導出樣本的材料密度和每個體元的原子序號中的至少一個的值。

8.一種帶電粒子顯微鏡，包括：

- 帶電粒子源，用于產生帶電粒子的照射射束；

- 粒子-光柱，用于將所述射束引導到目標上以便產生X射線束；

- 樣本保持器，用于保持要被所述X射線束照射的樣本；

- 檢測器，用于檢測響應于所述照射從該樣本放射出的輸出X射線的通量，

其特征在于，該帶電粒子顯微鏡進一步包括控制器，其被配置成執行以下動作：

- 使用所述檢測器來產生樣本的至少一部分的像素化圖像I_j的集合{I_j}，藉此，該集合{I_j}的勢為M > 1；

- 針對每個圖像I_j中的每個像素p_i，確定累積信號強度S_ij，從而產生相關聯的信號強度集合{S_ij}；

- 使用集合{S_ij}來計算以下值：

? 每個像素位置i的平均信號強度S；

? 每個像素位置i的S中的方差σ²_S.

- 使用這些值S和σ²_S來產生每個像素的平均X射線光子能量E的圖。