[發(fā)明專利]一種束流診斷高精度直線傳動(dòng)裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711242594.7
• 申請(qǐng)日: 2017-11-30
• 公開（公告）號(hào): CN107817511A
• 公開（公告）日: 2018-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 丁開忠;姚凱;陳永華;宋云濤;吳昱城;李君君;馮漢升;陳根
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥中科離子醫(yī)學(xué)技術(shù)裝備有限公司
• 主分類號(hào): G01T1/29
• 分類號(hào): G01T1/29
• 代理公司: 北京和信華成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11390
• 代理人: 胡劍輝

1.一種束流診斷高精度直線傳動(dòng)裝置，其特征在于，包括探頭(1)、傳動(dòng)桿(2)、波紋管(3)、動(dòng)密封(4)、電缸(5)、光柵尺(6)；

其中，所述傳動(dòng)桿(2)與探頭(1)通過螺釘連接；傳動(dòng)桿(2)穿過波紋管(3)和動(dòng)密封(4)，波紋管(3)和動(dòng)密封(4)通過CF超高真空法蘭連接；傳動(dòng)桿(2)與動(dòng)密封(4)通過O型密封圈(9)密封；

所述光柵尺(6)的讀數(shù)頭與電缸(5)的滑塊連接；所述電缸(5)與傳動(dòng)桿(2)末端相連，所述傳動(dòng)桿(2)在電缸(5)的驅(qū)動(dòng)下沿著導(dǎo)向套(10)做往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種束流診斷高精度直線傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述光柵尺(6)反饋補(bǔ)償距離到電缸(5)；電缸(5)和光柵尺(6)通過螺釘固定在支撐調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(7)上，支撐調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(7)固定在加速器外部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種束流診斷高精度直線傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)桿(2)穿過波紋管(3)和動(dòng)密封(4)，沿著動(dòng)密封前進(jìn)和后退；所述波紋管(3)一端與加速器束測(cè)通道連接，另一端與動(dòng)密封連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種束流診斷高精度直線傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述動(dòng)密封(4)是與波紋管(3)的一端法蘭連接，動(dòng)密封中間圓孔穿過與之相配的傳動(dòng)桿；所述電缸(5)電缸驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)桿(2)沿著唯一的方向進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)，同時(shí)電缸提供不同的運(yùn)動(dòng)速度和運(yùn)動(dòng)模式。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種束流診斷高精度直線傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述支撐調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(7)與電缸、光柵尺連接，其支撐平面的高度保證測(cè)量中心在同一水平面內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種束流診斷高精度直線傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)桿(2)前端與探頭(1)連接，傳動(dòng)桿(2)在電缸(5)的驅(qū)動(dòng)下直線傳動(dòng)，電缸(5)推動(dòng)傳動(dòng)桿(2)伸入加速器內(nèi)部，將探頭傳送到不同的位置，從而進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量，獲取束流的流強(qiáng)和位置信息。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種束流診斷高精度直線傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述電缸(5)帶動(dòng)傳動(dòng)桿(2)在直線方向前進(jìn)和后退，所運(yùn)行速度保證在2-100mm/s；所述電缸(5)重復(fù)定位精度為0.02mm；所述光柵尺(6)精度為±0.005mm，其測(cè)量電缸運(yùn)動(dòng)的行程并給電缸提供補(bǔ)償。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種束流診斷高精度直線傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述波紋管(3)與加速器測(cè)量通道的密封法蘭連接，傳動(dòng)桿穿過動(dòng)密封并連接，保證加速器的真空環(huán)境不被破壞，保證整個(gè)裝置漏率小于1.0×10^-10Pa.m³/s。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種束流診斷高精度直線傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)桿尾端安裝有多針feedthrough，前端根據(jù)需要更換不同類型的探頭，靶頭的信號(hào)線通過傳動(dòng)桿內(nèi)部與feedthrough連接，feedthrough與電子學(xué)相關(guān)設(shè)備連接完成信號(hào)采集工作，從而獲得束流的流強(qiáng)和位置信息。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種束流診斷高精度直線傳動(dòng)裝置，其特征在于，該傳動(dòng)裝置的探頭測(cè)量方式為：電缸推動(dòng)傳動(dòng)桿伸入加速器內(nèi)部；傳動(dòng)桿前端的探頭在電缸的推動(dòng)下沿著動(dòng)密封做直線運(yùn)動(dòng)，通過調(diào)整電缸前進(jìn)速度和運(yùn)動(dòng)模式來獲得不同的測(cè)量方式，傳動(dòng)桿前端根據(jù)需要更換不同功能的探頭；探頭可以測(cè)量束流的流強(qiáng)和位置信息，從而進(jìn)行束流的調(diào)試。