[發明專利]靜電卡盤產品污染物清洗處理的方法在審
| 申請號： | 201711239965.6 | 申請日： | 2017-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN107952727A | 公開（公告）日： | 2018-04-24 |
| 發明（設計）人： | 趙浩;皮超 | 申請（專利權）人： | 蕪湖通潮精密機械股份有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/02 | 分類號： | B08B3/02;B08B1/00;B08B3/08;F26B5/16;F26B21/00 |
| 代理公司： | 蕪湖安匯知識產權代理有限公司34107 | 代理人： | 朱圣榮 |
| 地址： | 241000 安徽省蕪*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 靜電 卡盤 產品 污染物 清洗 處理 方法 | ||
【權利要求書】：
1.靜電卡盤產品污染物清洗處理的方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟1、高壓水槍沖洗靜電卡盤產品；
步驟2、擦拭靜電卡盤產品正面及側面水分；
步驟3、使用蘸有異丙醇的無塵布擦拭靜電卡盤正面及側面；
步驟4、使用蘸有乙醇的無塵布擦拭靜電卡盤正面及側面；
步驟5、使用蘸有乙醇的無塵布擦拭靜電卡盤背面；
步驟6、對靜電卡盤進行高壓水槍的沖洗；
步驟7、氣體吹干靜電卡盤產品。
2.根據權利要求1所述的靜電卡盤產品污染物清洗處理的方法，其特征在于：所述步驟1和6水壓控制在25-35公斤。
3.根據權利要求2所述的靜電卡盤產品污染物清洗處理的方法，其特征在于：所述步驟1和6高壓水槍的槍口距離產品50cm以上。
4.根據權利要求3所述的靜電卡盤產品污染物清洗處理的方法，其特征在于：所述步驟2采用無塵布擦拭掉靜電卡盤正面的水分。
5.根據權利要求1、2、3或4所述的靜電卡盤產品污染物清洗處理的方法，其特征在于：所述步驟3和步驟至少重復兩次。
6.根據權利要求5所述的靜電卡盤產品污染物清洗處理的方法，其特征在于：所述步驟7使用2公斤壓力的CDA氣體吹干靜電卡盤產品，氣槍槍口離靜電卡盤產品50cm以上。
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