[發(fā)明專利]一種減壓擴(kuò)散爐尾氣冷卻裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201711239530.1 | 申請日: | 2017-11-30 |
| 公開(公告)號: | CN108050851B | 公開(公告)日: | 2019-07-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 張彌濤;李明;李曄純;張春成;李斌 | 申請(專利權(quán))人: | 湖南紅太陽光電科技有限公司 |
| 主分類號: | F27D17/00 | 分類號: | F27D17/00 |
| 代理公司: | 湖南兆弘專利事務(wù)所(普通合伙) 43008 | 代理人: | 周長清;戴玲 |
| 地址: | 410205 湖南省*** | 國省代碼: | 湖南;43 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 減壓 擴(kuò)散 尾氣 冷卻 裝置 | ||
本發(fā)明公開了一種減壓擴(kuò)散爐尾氣冷卻裝置,包括進(jìn)氣管、石英冷凝瓶、冷凝瓶套組件、進(jìn)氣端蓋、抽氣端蓋、抽氣管和冷卻系統(tǒng),石英冷凝瓶位于冷凝瓶套組件內(nèi),兩端分別通過進(jìn)氣端蓋和抽氣端蓋密封,石英冷凝瓶包括第一腔室、第二腔室和第三腔室,第二腔室套于第一腔室和第三腔室外部,第一腔室與第二腔室連通,第二腔室與第三腔室連通,進(jìn)氣管穿過進(jìn)氣端蓋伸入第一腔室內(nèi),抽氣管穿過抽氣端蓋伸入第三腔室內(nèi),進(jìn)氣管的氣流方向與第一腔室內(nèi)的氣流方向相反,抽氣管的氣流方向與第三腔室內(nèi)的氣流方向相反,冷卻系統(tǒng)包括分設(shè)于第二腔室和第三腔室內(nèi)的第一冷卻部件和第二冷卻部件。本發(fā)明可使尾氣在小空間內(nèi)長距離運(yùn)動,增加尾氣與冷卻部件的接觸面積。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及減壓擴(kuò)散爐尾氣處理領(lǐng)域,尤其涉及一種減壓擴(kuò)散爐尾氣冷卻裝置。
背景技術(shù)
現(xiàn)階段低壓擴(kuò)散爐正常工作時(shí)均配備有真空泵,為了防止低壓擴(kuò)散爐工作時(shí)爐管內(nèi)產(chǎn)生的高溫氯氣、偏磷酸蒸汽等腐蝕性氣體直接進(jìn)入真空泵中而影響真空泵的使用壽命,需要在石英管排廢口與真空泵之間設(shè)置冷凝裝置。采用此裝置時(shí),一方面可以降低進(jìn)入真空泵的尾氣溫度,保證真空泵正常工作;另一方面,此裝置還可以使擴(kuò)散工藝時(shí)產(chǎn)生的各種腐蝕性氣體冷凝成液態(tài)并暫時(shí)儲存在冷凝裝置內(nèi),防止這些氣體進(jìn)入真空泵而損傷泵體。
現(xiàn)有技術(shù)中,冷卻系統(tǒng)中較多采用直通式金屬水冷冷凝瓶和石英風(fēng)冷冷凝瓶。直通式金屬水冷冷凝瓶為了增加尾氣與冷凝瓶的接觸面積采用增加冷凝管長度的方式,此類冷凝瓶有體積較大、安裝困難的缺點(diǎn),在工作和維護(hù)中會給操作人員帶來諸多不便。石英風(fēng)冷冷凝瓶直接將石英冷凝瓶裸露,利用空氣對流將熱量抽入排廢管,該裝置冷卻效果差,同時(shí)石英冷凝瓶已損壞。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種可以使尾氣在小空間長距離的運(yùn)動、大大增加了尾氣與冷卻部件的接觸面積的減壓擴(kuò)散爐尾氣冷卻裝置。
為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
一種減壓擴(kuò)散爐尾氣冷卻裝置,包括進(jìn)氣管、石英冷凝瓶、冷凝瓶套組件、進(jìn)氣端蓋、抽氣端蓋、抽氣管和冷卻系統(tǒng),所述石英冷凝瓶位于冷凝瓶套組件內(nèi),兩端分別通過進(jìn)氣端蓋和抽氣端蓋密封,所述石英冷凝瓶包括相互隔開的第一腔室、第二腔室和第三腔室,所述第一腔室與第三腔室沿著進(jìn)氣方向依次設(shè)置,所述第二腔室套于第一腔室和第三腔室外部,所述第一腔室設(shè)有與第二腔室連通的第一連通孔,所述第二腔室設(shè)有與第三腔室連通的第二連通孔,所述進(jìn)氣管穿過進(jìn)氣端蓋伸入第一腔室內(nèi),所述抽氣管穿過抽氣端蓋伸入第三腔室內(nèi),所述進(jìn)氣管內(nèi)的氣流方向與第一腔室內(nèi)的氣流方向相反,所述第一腔室與第三腔室內(nèi)的氣流方向相同,所述第二腔室內(nèi)的氣流方向與第三腔室內(nèi)的氣流方向相反,所述抽氣管的氣流方向與第三腔室內(nèi)的氣流方向相反,所述冷卻系統(tǒng)包括第一冷卻部件和第二冷卻部件,所述第一冷卻部件和第二冷卻部件分別設(shè)于第二腔室和第三腔室內(nèi)。
作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn):
所述進(jìn)氣端蓋與進(jìn)氣管之間設(shè)有密封組件,所述密封組件包括公接頭、母接頭、第一全氟密封圈和第一密封圈擋環(huán),所述公接頭裝設(shè)于進(jìn)氣端蓋上,所述母接頭插入公接頭內(nèi),且與公接頭螺紋配合,所述進(jìn)氣管依次穿過母接頭、公接頭和進(jìn)氣端蓋伸入第一腔室內(nèi),所述公接頭內(nèi)壁、母接頭位于公接頭內(nèi)的端面及進(jìn)氣管外壁之間具有密封空腔,所述第一密封圈擋環(huán)和第一全氟密封圈設(shè)于所述密封空腔內(nèi),且第一密封圈擋環(huán)靠近母接頭位于公接頭內(nèi)的端面,第一密封圈擋環(huán)表面具有全氟涂層。
所述第一冷卻部件為套于第一腔室和第三腔室外部的第一螺旋冷卻水管,所述第一螺旋冷卻水管的進(jìn)口端和出口端均貫穿于抽氣端蓋上;所述第二冷卻部件為套于抽氣管外部的第二螺旋冷卻水管,所述第二螺旋冷卻水管的進(jìn)口端和出口端均貫穿于抽氣端蓋上。
所述進(jìn)氣端蓋與石英冷凝瓶之間設(shè)有第一固定塊,所述抽氣端蓋與石英冷凝瓶之間設(shè)有第二固定塊,所述第二固定塊上分別設(shè)有可供第一螺旋冷卻水管和第二螺旋冷卻水管穿過的第一避讓孔和第二避讓孔,所述第一固定塊和第二固定塊由耐腐蝕的聚四氟乙烯材料加工而成。
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