[發(fā)明專利]共焦顯微鏡模式像差矯正裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711238228.4
• 申請日: 2017-11-30
• 公開（公告）號: CN107991235B
• 公開（公告）日: 2020-07-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉辰光;趙唯松;劉儉;陳剛;王宇航;譚久彬
• 申請（專利權(quán)）人: 哈爾濱工業(yè)大學(xué);北京銳馳恒業(yè)儀器科技有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/21
• 代理公司: 北京慕達星云知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11465
• 代理人: 崔自京

1.共焦顯微鏡模式像差矯正裝置，其特征在于：包括激光器(1)、雙面45°反光鏡(2)、分束鏡(3)、半波片(4)、空間光調(diào)制器(5)、反射鏡(6)、光闌(7)、偏振分束鏡(8)、XY掃描振鏡(9)、掃描透鏡(10)、管鏡(11)、物鏡(12)、1/4波片(13)、收集透鏡(15)、光纖小孔(16)和光電倍增管(17)；

所述激光器(1)發(fā)出的激光經(jīng)雙面45°反光鏡(2)的一側(cè)反光鏡面反射后途經(jīng)分束鏡(3)到達半波片(4)，經(jīng)半波片(4)調(diào)制后射入至空間光調(diào)制器(5)，再經(jīng)空間光調(diào)制器(5)調(diào)制后射回至分束鏡(3)，再經(jīng)分束鏡(3)反射至反射鏡(6)，然后經(jīng)光闌(7)濾除高階衍射雜光后射到雙面45°反光鏡(2)的另一側(cè)反光鏡面，經(jīng)雙面45°反光鏡(2)再次反射后經(jīng)過偏振分束鏡(8)射至XY掃描振鏡(9)上，然后經(jīng)XY掃描振鏡(9)反射至掃描透鏡(10)，再經(jīng)過管鏡(11)后經(jīng)過1/4波片(12)偏振面翻轉(zhuǎn)90°后被物鏡(13)聚焦至的打在待測樣品(14)上；聚焦后的光斑再從待測樣品(14)上反射回物鏡(13)，經(jīng)過1/4波片(12)，偏振面再次翻轉(zhuǎn)90°后依次經(jīng)過、管鏡(11)、掃面透鏡(10)和XY掃描振鏡(9)，射在偏振分束鏡(8)上，再經(jīng)偏振分束鏡(8)反射至收集透鏡(15)并聚焦到光纖小孔(16)，最后被光電倍增管(17)收集；

共焦顯微系統(tǒng)的模式像差矯正裝置的像差矯正方法：

步驟a、通過空間光調(diào)制器(5)調(diào)制，變換不同光波前形狀，得到不同圖像信息；

步驟b、通過不同圖像信息，計算相應(yīng)圖像質(zhì)量系數(shù)，計算得到液晶光調(diào)制器(5)使圖像質(zhì)量最優(yōu)的調(diào)制狀態(tài)；

步驟c、保持液晶光調(diào)制器(5)最優(yōu)狀態(tài)，得到更高圖像質(zhì)量的圖像。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共焦顯微鏡模式像差矯正裝置，其特征在于：所述的激光器(1)、偏振分束鏡(8)、XY掃描振鏡(9)、掃描透鏡(10)、管鏡(11)、物鏡(12)和1/4波片(13)組成照明裝置，所述的照明裝置按照照明光傳播方向依次為：激光器(1)、偏振分束鏡(8)、XY掃描振鏡(9)、掃描透鏡(10)、管鏡(11)、物鏡(12)和1/4波片(13)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共焦顯微鏡模式像差矯正裝置，其特征在于：所述的偏振分束鏡(8)、XY掃描振鏡(9)、掃描透鏡(10)、管鏡(11)、物鏡(12)、1/4波片(13)、收集透鏡(15)、光纖小孔(16)和光電倍增管(17)組成探測裝置，所述的探測裝置按照照明光傳播方向依次為：1/4波片(13)、物鏡(12)、管鏡(11)、掃描透鏡(10)、XY掃描振鏡(9)、偏振分束鏡(8)、收集透鏡(15)、光纖小孔(16)和光電倍增管(17)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共焦顯微鏡模式像差矯正裝置，其特征在于：所述的雙面45°反光鏡(2)、分束鏡(3)、半波片(4)、空間光調(diào)制器(5)、反射鏡(6)、光闌(7)組成像差矯正裝置，所述的像差矯正裝置按照照明光傳播方向依次為：雙面45°反射鏡(2)、分束鏡(3)、半波片(4)、空間光調(diào)制器(5)、反射鏡(6)和光闌(7)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4任意一項所述的共焦顯微鏡模式像差矯正裝置，其特征在于：所述的激光器(1)，所發(fā)射激光應(yīng)為偏振方向為水平方向的線偏振光。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的共焦顯微鏡模式像差矯正裝置，其特征在于：所述的空間光調(diào)制器(5)為完全相位調(diào)制型，其光軸為垂直方向，并且其調(diào)制中心對準(zhǔn)激光的光軸中心。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的共焦顯微鏡模式像差矯正裝置，其特征在于：所述的半波片(4)的快軸與激光偏振方向呈45°或135°，使激光通過半波片后偏振方向與空間光調(diào)制器光軸平行。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的共焦顯微鏡模式像差矯正裝置，其特征在于：所述的光闌(7)通過中心光斑，隔離其他高級衍射光。