[發(fā)明專利]一種拉曼光譜檢測(cè)系統(tǒng)和方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201711237949.3 | 申請(qǐng)日: | 2017-11-30 |
| 公開(公告)號(hào): | CN109856108B | 公開(公告)日: | 2021-05-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 熊勝軍;袁丁;夏征 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 北京華泰諾安探測(cè)技術(shù)有限公司 |
| 主分類號(hào): | G01N21/65 | 分類號(hào): | G01N21/65;G01N21/01 |
| 代理公司: | 北京名華博信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11453 | 代理人: | 苗源;李冬梅 |
| 地址: | 101312 北京市順*** | 國(guó)省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 光譜 檢測(cè) 系統(tǒng) 方法 | ||
1.一種拉曼光譜檢測(cè)系統(tǒng),其特征在于,所述系統(tǒng)包括第一測(cè)量裝置、第二測(cè)量裝置、光譜分析裝置(8),所述第一測(cè)量裝置包括第一激光器(1)、光路轉(zhuǎn)換器(3)、第一光聚焦器(4)、光耦合器(7),所述第二測(cè)量裝置包括第二激光器(9)、第二光聚焦器(11)、位移導(dǎo)軌(12);其中,
所述第一激光器(1)設(shè)置于所述光路轉(zhuǎn)換器(3)的第一側(cè),用于輸出準(zhǔn)直光束;
所述光路轉(zhuǎn)換器(3)用于反射所述第一激光器(1)輸出的準(zhǔn)直光束;
所述第一光聚焦器(4)設(shè)置于所述光路轉(zhuǎn)換器(3)的第一側(cè),并垂直于所述光路轉(zhuǎn)換器(3)反射的光束設(shè)置,用于將反射光束聚焦并傳輸至檢測(cè)目標(biāo)(5);
所述光耦合器(7)設(shè)置于所述光路轉(zhuǎn)換器(3)的第二側(cè),并垂直于所述光路轉(zhuǎn)換器(3)透射的光束設(shè)置,用于將透射光束耦合后傳輸至所述光譜分析裝置(8);
所述光譜分析裝置(8)用于接收所述光耦合器(7)傳輸?shù)墓馐?,并?duì)該光束進(jìn)行光譜分析;
所述第二激光器(9)設(shè)置于所述位移導(dǎo)軌(12)上,用于輸出準(zhǔn)直光束;
所述第二光聚焦器(11)垂直于所述第二激光器(9)輸出的光束設(shè)置,用于將該輸出光束聚焦并傳輸至檢測(cè)目標(biāo)(5);
所述位移導(dǎo)軌(12)用于使所述第二激光器(9)水平平移;
所述第一激光器(1)被設(shè)置為輸出第一頻率的準(zhǔn)直光束;
所述第二激光器(9)被設(shè)置輸出第二頻率的準(zhǔn)直光束;
其中,所述第一頻率和所述第二頻率的頻差Δv范圍是3-20cm-1。
2.如權(quán)利要求1所述的拉曼光譜檢測(cè)系統(tǒng),其特征在于,所述光譜分析裝置(8)用于:
獲取所述第一激光器(1)在檢測(cè)目標(biāo)(5)上激發(fā)產(chǎn)生的光譜信號(hào)S0;
獲取所述第二激光器(9)在檢測(cè)目標(biāo)(5)上激發(fā)產(chǎn)生的光譜信號(hào)S1,...,SN,N為大于等于1的正整數(shù),其中所述第二激光器(9)的輸出光束在檢測(cè)目標(biāo)(5)上的聚焦點(diǎn)與所述第一激光器(1)的輸出光束在檢測(cè)目標(biāo)(5)的聚焦點(diǎn)的距離為i×d時(shí),采集的光譜信號(hào)為Si,i=1,2,...,N;
獲取光譜信號(hào)S0,S1,…,SN的譜峰位置和強(qiáng)度值為(P0j,Y0j)、(P1j,Y1j)……(Pij,Yij),其中j=1,2,...,M,M為光譜信號(hào)中的譜峰總數(shù);
按如下方式計(jì)算差減因子C1j,C2j,…,CNj,
N=1時(shí),依次取j={1,…,M},求取差減因子C1j=Y(jié)1j/Y0j,如果C1j≤1,且同時(shí)滿足,則差減因子求解結(jié)束,取C1=C1j,
N=2時(shí),依次取j={1,…,M},求取差減因子C1j=Y(jié)1j/Y0j,C2j=Y(jié)2j/Y0j,如果C2j≤C1j,且同時(shí)滿足,則差減因子求解結(jié)束,取C1=C1j,C2=C2j,以此類推;
計(jì)算樣品信號(hào)R,
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G01N21-00 利用光學(xué)手段,即利用紅外光、可見光或紫外光來(lái)測(cè)試或分析材料
G01N21-01 .便于進(jìn)行光學(xué)測(cè)試的裝置或儀器
G01N21-17 .入射光根據(jù)所測(cè)試的材料性質(zhì)而改變的系統(tǒng)
G01N21-62 .所測(cè)試的材料在其中被激發(fā),因之引起材料發(fā)光或入射光的波長(zhǎng)發(fā)生變化的系統(tǒng)
G01N21-75 .材料在其中經(jīng)受化學(xué)反應(yīng)的系統(tǒng),測(cè)試反應(yīng)的進(jìn)行或結(jié)果
G01N21-84 .專用于特殊應(yīng)用的系統(tǒng)
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