[發明專利]磨削裝置在審
| 申請號： | 201711237844.8 | 申請日： | 2017-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN108177038A | 公開（公告）日： | 2018-06-19 |
| 發明（設計）人： | 李宰榮;甲斐賢哉 | 申請（專利權）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | B24B7/22 | 分類號： | B24B7/22;B24B41/06;B24B27/00;B24B41/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帥;喬婉 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 磨削 卡盤工作臺 被加工物 磨削裝置 磨削面 磨輪 半徑區域 磨削磨具 吸附面 轉動工作臺 磨削加工 支承 轉動 | ||
【權利要求書】：
1.一種磨削裝置，其至少包含：
多個卡盤工作臺，它們對被加工物進行保持；
轉動工作臺，其能夠旋轉，并將該卡盤工作臺支承為能夠轉動；
第1磨削單元，其對該卡盤工作臺所保持的被加工物的被磨削面實施第1磨削；以及
第2磨削單元，其對該卡盤工作臺所保持的被實施了該第1磨削的該被加工物的被磨削面實施第2磨削，
該磨削裝置的特征在于，
該第1磨削單元至少包含：第1磨削磨輪，其配設有具有磨削面的磨削磨具；以及主軸組件，其具有對該第1磨削磨輪進行支承并能夠旋轉的主軸，
該第2磨削單元至少包含：第2磨削磨輪，其配設有具有磨削面的磨削磨具；以及主軸組件，其具有對該第2磨削磨輪進行支承并能夠旋轉的主軸，
該卡盤工作臺與該第1磨削單元和該第2磨削單元對應地分別各配設兩個，
在配設于該第1磨削磨輪的該磨削磨具的磨削面與兩個該卡盤工作臺的兩個吸附面相對置的半徑區域中實施磨削，
在配設于該第2磨削磨輪的該磨削磨具的磨削面與兩個該卡盤工作臺的兩個吸附面相對置的半徑區域中實施磨削。
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