[發(fā)明專利]一種冷泵再生控制方法、裝置及半導(dǎo)體加工設(shè)備

有效

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• 申請日: 2017-11-30
• 公開（公告）號: CN109854491B
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張鶴南;楊洋;董博宇;徐寶崗;劉紹輝;武學(xué)偉
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: F04B49/06
• 分類號: F04B49/06;F04B37/08;H01L21/67
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;羅瑞芝

1.一種冷泵再生控制方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟S1，至少一個(gè)冷泵接收到冷泵再生指令后開始再生；

步驟S2，在所述冷泵再生時(shí)，監(jiān)控所述冷泵的再生狀態(tài)，若所述冷泵排氣結(jié)束，則終止所述冷泵的再生；

步驟S3，在所述冷泵排氣結(jié)束后申請干泵的使用權(quán)，所述干泵的數(shù)量小于或等于所述冷泵的數(shù)量；

步驟S4，若所述冷泵獲得所述干泵的使用權(quán)，則再次開始所述冷泵的再生；若所述冷泵未獲得所述干泵的使用權(quán)，則排隊(duì)等待；

步驟S5，監(jiān)控所述冷泵的再生狀態(tài)，若所述冷泵開始降溫，則釋放所述干泵的使用權(quán)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷泵再生控制方法，其特征在于，在執(zhí)行所述步驟S1之前，根據(jù)所述冷泵吸附氣體的容量計(jì)算出所述冷泵的實(shí)際排氣時(shí)間，所述冷泵按照所述實(shí)際排氣時(shí)間進(jìn)行排氣。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的冷泵再生控制方法，其特征在于，所述實(shí)際排氣時(shí)間是由以下方式確定：

其中，C為當(dāng)前容量，C_MAX為最大容量，T_MAX為當(dāng)冷泵容量為C時(shí)所需再生的時(shí)間，T為排氣時(shí)間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷泵再生控制方法，其特征在于，在執(zhí)行所述步驟S1之前，包括步驟：關(guān)閉所述冷泵的門閥，所述門閥是設(shè)置于所述冷泵的進(jìn)氣口與腔室的排氣口之間的閥門，用于隔斷所述冷泵與所述腔室。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷泵再生控制方法，其特征在于，在執(zhí)行所述步驟S2時(shí)，監(jiān)控所述冷泵的再生是否超時(shí)，若是，則發(fā)出報(bào)警，并將所述冷泵的排氣時(shí)間設(shè)置為最大排氣時(shí)間。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷泵再生控制方法，其特征在于，在所述步驟S4中，將所述冷泵的排氣時(shí)間設(shè)置為虛擬排氣時(shí)間，以及將冷泵的升溫至室溫的時(shí)間設(shè)置為虛擬升溫時(shí)間。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的冷泵再生控制方法，其特征在于，所述虛擬排氣時(shí)間為0.5-3分鐘，所述虛擬升溫時(shí)間為2-5分鐘。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷泵再生控制方法，其特征在于，在執(zhí)行所述步驟S3時(shí)，監(jiān)控所述申請干泵的使用權(quán)的時(shí)間是否超時(shí)，若是，則發(fā)出報(bào)警，并將所述冷泵的排氣時(shí)間設(shè)置為最大排氣時(shí)間。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷泵再生控制方法，其特征在于，在所述步驟S4中，在向所述冷泵發(fā)送再生指令前，所述干泵僅與獲得其使用權(quán)的冷泵保持連通。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷泵再生控制方法，其特征在于，在執(zhí)行所述步驟S5時(shí)，監(jiān)控所述冷泵的再生是否超時(shí)，若是，則依次執(zhí)行以下步驟：

向所述冷泵發(fā)送終止再生指令；

釋放所述干泵的使用權(quán)；

發(fā)出報(bào)警；

將所述冷泵的排氣時(shí)間設(shè)置為最大排氣時(shí)間。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷泵再生控制方法，其特征在于，在所述步驟S5執(zhí)行后，執(zhí)行以下步驟：

等待所述冷泵再生結(jié)束；

將所述冷泵的排氣時(shí)間設(shè)置為最大排氣時(shí)間。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷泵再生控制方法，其特征在于，當(dāng)多個(gè)冷泵同時(shí)收到所述開始再生指令，則所述多個(gè)冷泵同時(shí)執(zhí)行步驟S2和步驟S3。