[發明專利]顯影液管理裝置

在審

• 申請號: 201711234783.X
• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN108345186A
• 公開（公告）日: 2018-07-31
• 發明（設計）人: 中川俊元
• 申請（專利權）人: 株式會社平間理化研究所
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30;G03F7/32
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 王婷

1.一種顯影液管理裝置，其中，

所述顯影液管理裝置具備控制機構及警報機構，

所述控制機構具備：

數據存儲部，其存儲有導電率數據，該導電率數據按照以反復使用且顯現堿性的顯影液的溶解光致抗蝕劑濃度及吸收二氧化碳濃度為指標而確定的濃度區域，具有預先確認了實現規定的顯影性能的所述顯影液的導電率值；以及

控制部，其將根據所述顯影液的溶解光致抗蝕劑濃度的測定值及吸收二氧化碳濃度的測定值而確定的濃度區域的存儲于所述數據存儲部的所述導電率值作為控制目標值，以使所述顯影液的導電率成為所述控制目標值的方式向控制閥發送控制信號，所述控制閥設置在輸送向所述顯影液補給的補充液的管路上，

所述警報機構在所述顯影液的導電率、溶解光致抗蝕劑濃度及吸收二氧化碳濃度中的至少任一方偏離設定的管理范圍時發出警報。

2.根據權利要求1所述的顯影液管理裝置，其中，

所述顯影液管理裝置具備發送警報信號的外部輸出信號端子、發出警報聲的警報裝置、燈光點亮或閃爍的警告燈、顯示警告的顯示裝置及切換觸點的開閉的轉換端子中的至少任一方來作為所述警報機構。

3.根據權利要求1或2所述的顯影液管理裝置，其中，

所述顯影液管理裝置還具備多個測定裝置，所述多個測定裝置對包含與所述顯影液的溶解光致抗蝕劑濃度具有關聯的所述顯影液的特性值及與所述顯影液的吸收二氧化碳濃度具有關聯的所述顯影液的特性值在內的所述顯影液的多個特性值進行測定，

所述控制機構還具備運算部，所述運算部根據由所述多個測定裝置測定出的所述顯影液的多個特性值并利用多變量解析法來算出所述顯影液的溶解光致抗蝕劑濃度的測定值及吸收二氧化碳濃度的測定值。

4.根據權利要求1或2所述的顯影液管理裝置，其中，

所述顯影液管理裝置還具備：

多個測定裝置，其對包含與所述顯影液的溶解光致抗蝕劑濃度具有關聯的所述顯影液的特性值及與所述顯影液的吸收二氧化碳濃度具有關聯的所述顯影液的特性值在內的所述顯影液的多個特性值進行測定；以及

運算機構，其根據由所述多個測定裝置測定出的所述顯影液的多個特性值并使用多變量解析法來算出所述顯影液的溶解光致抗蝕劑濃度的測定值及吸收二氧化碳濃度的測定值。

5.根據權利要求1或2所述的顯影液管理裝置，其中，

所述顯影液管理裝置具備密度儀，

所述控制機構還具備運算部，所述運算部基于所述顯影液的吸收二氧化碳濃度與密度之間的對應關系，根據由所述密度儀測定出的所述顯影液的密度值來算出所述顯影液的吸收二氧化碳濃度值。

6.根據權利要求1或2所述的顯影液管理裝置，其中，

所述顯影液管理裝置還具備：

密度儀；以及

運算機構，其基于所述顯影液的吸收二氧化碳濃度與密度之間的對應關系，根據由所述密度儀測定出的所述顯影液的密度值來算出所述顯影液的吸收二氧化碳濃度值。

7.一種顯影液管理裝置，其中，

所述顯影液管理裝置具備控制機構，

所述控制機構具備：

數據存儲部，其存儲有導電率數據，該導電率數據按照以反復使用且顯現堿性的顯影液的溶解光致抗蝕劑濃度及吸收二氧化碳濃度為指標而確定的濃度區域，具有預先確認了實現規定的顯影性能的所述顯影液的導電率值；以及

控制部，其將根據所述顯影液的溶解光致抗蝕劑濃度的測定值及吸收二氧化碳濃度的測定值而確定的濃度區域的存儲于所述數據存儲部的所述導電率值作為控制目標值，以使所述顯影液的導電率成為所述控制目標值的方式向控制閥發送控制信號，所述控制閥設置在輸送向所述顯影液補給的補充液的管路上，

在所述顯影液管理裝置中，按照所述顯影液的導電率、溶解光致抗蝕劑濃度及吸收二氧化碳濃度設置有警報機構，該警報機構在所述顯影液的導電率、溶解光致抗蝕劑濃度及吸收二氧化碳濃度偏離設定的管理范圍時發出警報。