[發(fā)明專利]基板處理系統(tǒng)以及基板的處理費(fèi)用計(jì)算系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711232549.3
• 申請(qǐng)日: 2017-11-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108933093A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-12-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中川俊元
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社平間理化研究所
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;G03F7/30;G06Q10/06
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 王婷

1.一種基板處理系統(tǒng)，其中，

所述基板處理系統(tǒng)具備：

基板處理機(jī)構(gòu)，其使用藥液對(duì)基板進(jìn)行處理；

藥液管理機(jī)構(gòu)，其對(duì)在所述基板處理機(jī)構(gòu)反復(fù)使用的所述藥液的濃度進(jìn)行管理；以及

配管，其與所述基板處理機(jī)構(gòu)連接，將由所述藥液管理機(jī)構(gòu)向所述藥液供給的補(bǔ)充液輸送至所述基板處理機(jī)構(gòu)，

在所述配管中配備有累計(jì)流量計(jì)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理系統(tǒng)，其中，

所述基板處理系統(tǒng)還具備：

藥液調(diào)制機(jī)構(gòu)，其將所述藥液調(diào)制為新液；以及

新液用配管，其與所述基板處理機(jī)構(gòu)及所述藥液調(diào)制機(jī)構(gòu)連接，通過(guò)所述藥液管理機(jī)構(gòu)向在所述基板處理機(jī)構(gòu)反復(fù)使用的藥液供給由所述藥液調(diào)制機(jī)構(gòu)調(diào)制出的所述新液，

在所述新液用配管中配備有累計(jì)流量計(jì)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板處理系統(tǒng)，其中，

所述基板處理系統(tǒng)還具備：

藥液再生機(jī)構(gòu)，其將在所述基板處理機(jī)構(gòu)使用后的所述藥液再生為能夠再利用的再生液；以及

再生液用配管，其與所述基板處理機(jī)構(gòu)及所述藥液再生機(jī)構(gòu)連接，通過(guò)所述藥液管理機(jī)構(gòu)向在所述基板處理機(jī)構(gòu)反復(fù)使用的藥液供給由所述藥液再生機(jī)構(gòu)再生后的所述再生液，

在所述再生液用配管中配備有累計(jì)流量計(jì)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理系統(tǒng)，其中，

所述基板處理系統(tǒng)還具備：

藥液再生機(jī)構(gòu)，其將在所述基板處理機(jī)構(gòu)使用后的所述藥液再生為能夠再利用的再生液；以及

再生液用配管，其與所述基板處理機(jī)構(gòu)及所述藥液再生機(jī)構(gòu)連接，通過(guò)所述藥液管理機(jī)構(gòu)向在所述基板處理機(jī)構(gòu)反復(fù)使用的藥液供給由所述藥液再生機(jī)構(gòu)再生后的所述再生液，

在所述再生液用配管中配備有累計(jì)流量計(jì)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的基板處理系統(tǒng)，其中，

所述累計(jì)流量計(jì)具備通信功能。

6.一種基板處理系統(tǒng)，其中，

所述基板處理系統(tǒng)具備：

基板處理機(jī)構(gòu)，其使用藥液對(duì)基板進(jìn)行處理；

藥液調(diào)制機(jī)構(gòu)，其將所述藥液調(diào)制為新液；以及

新液用配管，其與所述基板處理機(jī)構(gòu)及所述藥液調(diào)制機(jī)構(gòu)連接，將由所述藥液調(diào)制機(jī)構(gòu)調(diào)制出的所述新液輸送至所述基板處理機(jī)構(gòu)，

在所述新液用配管中配備有累計(jì)流量計(jì)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板處理系統(tǒng)，其中，

所述累計(jì)流量計(jì)具備通信功能。

8.一種基板處理系統(tǒng)，其中，

所述基板處理系統(tǒng)具備：

基板處理機(jī)構(gòu)，其使用藥液對(duì)基板進(jìn)行處理；

藥液再生機(jī)構(gòu)，其將在所述基板處理機(jī)構(gòu)使用后的所述藥液再生為能夠再利用的再生液；以及

再生液用配管，其與所述基板處理機(jī)構(gòu)及所述藥液再生機(jī)構(gòu)連接，將由所述藥液再生機(jī)構(gòu)再生后的所述再生液輸送至所述基板處理機(jī)構(gòu)，

在所述再生液用配管中配備有累計(jì)流量計(jì)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板處理系統(tǒng)，其中，

所述累計(jì)流量計(jì)具備通信功能。

10.一種基板的處理費(fèi)用計(jì)算系統(tǒng)，其中，

所述基板的處理費(fèi)用計(jì)算系統(tǒng)具備：

基板處理機(jī)構(gòu)，其使用藥液對(duì)基板進(jìn)行處理；

下述組合中的至少任一組合：對(duì)在所述基板處理機(jī)構(gòu)反復(fù)使用的所述藥液的濃度進(jìn)行管理的藥液管理機(jī)構(gòu)、與同所述基板處理機(jī)構(gòu)連接且將由所述藥液管理機(jī)構(gòu)向所述藥液供給的補(bǔ)充液輸送至所述基板處理機(jī)構(gòu)的配管的組合，將所述藥液調(diào)制為新液的藥液調(diào)制機(jī)構(gòu)、與同所述基板處理機(jī)構(gòu)及所述藥液調(diào)制機(jī)構(gòu)連接且將由所述藥液調(diào)制機(jī)構(gòu)調(diào)制出的所述新液輸送至所述基板處理機(jī)構(gòu)的新液用配管的組合，以及將在所述基板處理機(jī)構(gòu)使用后的所述藥液再生為能夠再利用的再生液的藥液再生機(jī)構(gòu)、與同所述基板處理機(jī)構(gòu)及所述藥液再生機(jī)構(gòu)連接且將由所述藥液再生機(jī)構(gòu)再生后的所述再生液輸送至所述基板處理機(jī)構(gòu)的再生液用配管的組合；

基板處理系統(tǒng)，其在所述配管、所述新液用配管以及所述再生液用配管配備有具有通信功能的累計(jì)流量計(jì)；以及

服務(wù)器系統(tǒng)，其經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)與所述累計(jì)流量計(jì)連接，

所述服務(wù)器系統(tǒng)具備：

接收部，其經(jīng)由所述網(wǎng)絡(luò)而接收所述累計(jì)流量計(jì)所計(jì)測(cè)出的累計(jì)流量；

存儲(chǔ)部，其按照每個(gè)所述累計(jì)流量計(jì)而存儲(chǔ)由所述接收部接收到的所述累計(jì)流量的歷史信息；以及

運(yùn)算部，其基于由所述存儲(chǔ)部存儲(chǔ)的所述歷史信息，按照每個(gè)所述基板處理系統(tǒng)而計(jì)算規(guī)定期間內(nèi)的由所述基板處理系統(tǒng)處理的基板的處理費(fèi)用。