[發(fā)明專利]基板處理系統(tǒng)以及基板的處理費用計算系統(tǒng)

在審

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• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN108933093A
• 公開（公告）日: 2018-12-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 中川俊元
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社平間理化研究所
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;G03F7/30;G06Q10/06
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 王婷

1.一種基板處理系統(tǒng)，其中，

所述基板處理系統(tǒng)具備：

基板處理機構(gòu)，其使用藥液對基板進行處理；

藥液管理機構(gòu)，其對在所述基板處理機構(gòu)反復(fù)使用的所述藥液的濃度進行管理；以及

配管，其與所述基板處理機構(gòu)連接，將由所述藥液管理機構(gòu)向所述藥液供給的補充液輸送至所述基板處理機構(gòu)，

在所述配管中配備有累計流量計。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理系統(tǒng)，其中，

所述基板處理系統(tǒng)還具備：

藥液調(diào)制機構(gòu)，其將所述藥液調(diào)制為新液；以及

新液用配管，其與所述基板處理機構(gòu)及所述藥液調(diào)制機構(gòu)連接，通過所述藥液管理機構(gòu)向在所述基板處理機構(gòu)反復(fù)使用的藥液供給由所述藥液調(diào)制機構(gòu)調(diào)制出的所述新液，

在所述新液用配管中配備有累計流量計。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板處理系統(tǒng)，其中，

所述基板處理系統(tǒng)還具備：

藥液再生機構(gòu)，其將在所述基板處理機構(gòu)使用后的所述藥液再生為能夠再利用的再生液；以及

再生液用配管，其與所述基板處理機構(gòu)及所述藥液再生機構(gòu)連接，通過所述藥液管理機構(gòu)向在所述基板處理機構(gòu)反復(fù)使用的藥液供給由所述藥液再生機構(gòu)再生后的所述再生液，

在所述再生液用配管中配備有累計流量計。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理系統(tǒng)，其中，

所述基板處理系統(tǒng)還具備：

藥液再生機構(gòu)，其將在所述基板處理機構(gòu)使用后的所述藥液再生為能夠再利用的再生液；以及

再生液用配管，其與所述基板處理機構(gòu)及所述藥液再生機構(gòu)連接，通過所述藥液管理機構(gòu)向在所述基板處理機構(gòu)反復(fù)使用的藥液供給由所述藥液再生機構(gòu)再生后的所述再生液，

在所述再生液用配管中配備有累計流量計。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項所述的基板處理系統(tǒng)，其中，

所述累計流量計具備通信功能。

6.一種基板處理系統(tǒng)，其中，

所述基板處理系統(tǒng)具備：

基板處理機構(gòu)，其使用藥液對基板進行處理；

藥液調(diào)制機構(gòu)，其將所述藥液調(diào)制為新液；以及

新液用配管，其與所述基板處理機構(gòu)及所述藥液調(diào)制機構(gòu)連接，將由所述藥液調(diào)制機構(gòu)調(diào)制出的所述新液輸送至所述基板處理機構(gòu)，

在所述新液用配管中配備有累計流量計。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板處理系統(tǒng)，其中，

所述累計流量計具備通信功能。

8.一種基板處理系統(tǒng)，其中，

所述基板處理系統(tǒng)具備：

基板處理機構(gòu)，其使用藥液對基板進行處理；

藥液再生機構(gòu)，其將在所述基板處理機構(gòu)使用后的所述藥液再生為能夠再利用的再生液；以及

再生液用配管，其與所述基板處理機構(gòu)及所述藥液再生機構(gòu)連接，將由所述藥液再生機構(gòu)再生后的所述再生液輸送至所述基板處理機構(gòu)，

在所述再生液用配管中配備有累計流量計。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板處理系統(tǒng)，其中，

所述累計流量計具備通信功能。

10.一種基板的處理費用計算系統(tǒng)，其中，

所述基板的處理費用計算系統(tǒng)具備：

基板處理機構(gòu)，其使用藥液對基板進行處理；

下述組合中的至少任一組合：對在所述基板處理機構(gòu)反復(fù)使用的所述藥液的濃度進行管理的藥液管理機構(gòu)、與同所述基板處理機構(gòu)連接且將由所述藥液管理機構(gòu)向所述藥液供給的補充液輸送至所述基板處理機構(gòu)的配管的組合，將所述藥液調(diào)制為新液的藥液調(diào)制機構(gòu)、與同所述基板處理機構(gòu)及所述藥液調(diào)制機構(gòu)連接且將由所述藥液調(diào)制機構(gòu)調(diào)制出的所述新液輸送至所述基板處理機構(gòu)的新液用配管的組合，以及將在所述基板處理機構(gòu)使用后的所述藥液再生為能夠再利用的再生液的藥液再生機構(gòu)、與同所述基板處理機構(gòu)及所述藥液再生機構(gòu)連接且將由所述藥液再生機構(gòu)再生后的所述再生液輸送至所述基板處理機構(gòu)的再生液用配管的組合；

基板處理系統(tǒng)，其在所述配管、所述新液用配管以及所述再生液用配管配備有具有通信功能的累計流量計；以及

服務(wù)器系統(tǒng)，其經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)與所述累計流量計連接，

所述服務(wù)器系統(tǒng)具備：

接收部，其經(jīng)由所述網(wǎng)絡(luò)而接收所述累計流量計所計測出的累計流量；

存儲部，其按照每個所述累計流量計而存儲由所述接收部接收到的所述累計流量的歷史信息；以及

運算部，其基于由所述存儲部存儲的所述歷史信息，按照每個所述基板處理系統(tǒng)而計算規(guī)定期間內(nèi)的由所述基板處理系統(tǒng)處理的基板的處理費用。