[發明專利]一種基片固定裝置及包含其的PVD立式產線設備

在審

• 申請號: 201711227544.1
• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN108133909A
• 公開（公告）日: 2018-06-08
• 發明（設計）人: 蘇艷波
• 申請（專利權）人: 北京創昱科技有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩;吳歡燕

1.一種基片固定裝置，其特征在于，包括頂板(1)和設置在所述頂板(1)上方與所述頂板(1)相適配的載板(2)，所述頂板(1)上設置有多個頂銷(3)，所述載板(2)上開設有用以放置基片(11)的載板凹槽(21)，所述載板凹槽(21)的邊側設置有多個基片壓緊裝置，所述頂銷(3)與所述基片壓緊裝置一一對應，所述基片壓緊裝置包括用以壓緊所述基片(11)的旋轉壓塊和帶動所述旋轉壓塊轉動的壓塊驅動單元。

2.根據權利要求1所述的基片固定裝置，其特征在于，所述載板凹槽(21)的邊側開設有載板孔(22)，所述載板孔(22)上設置有中間開孔的彈簧固定板(4)，所述壓塊驅動單元設置于所述載板孔(22)內，所述旋轉壓塊設置于所述彈簧固定板(4)的上側。

3.根據權利要求2所述的基片固定裝置，其特征在于，所述壓塊驅動單元包括彈簧(9)和旋轉銷(10)，所述旋轉銷(10)中段的外壁上設置有環形凸起，所述彈簧(9)套設于所述旋轉銷(10)外側，所述彈簧(9)的上端與所述彈簧固定板(4)下側面相抵接，所述彈簧(9)的下端與所述環形凸起的上側面相抵接。

4.根據權利要求3所述的基片固定裝置，其特征在于，所述旋轉壓塊通過壓塊螺栓(7)與所述旋轉銷(10)的上端固定連接，所述旋轉壓塊在所述旋轉銷(10)的帶動下旋轉。

5.根據權利要求3所述的基片固定裝置，其特征在于，所述旋轉銷(10)的下端開設有與所述頂銷(3)相適配的凹槽。

6.根據權利要求4所述的基片固定裝置，其特征在于，所述旋轉壓塊為單旋轉壓塊(5)，所述單旋轉壓塊(5)通過所述壓塊螺栓(7)固定在所述旋轉銷(10)上。

7.根據權利要求4所述的基片固定裝置，其特征在于，所述旋轉壓塊包括單旋轉壓塊(5)和雙旋轉壓塊(6)，所述單旋轉壓塊(5)的端部通過所述壓塊螺栓(7)固定在所述旋轉銷(10)上，所述雙旋轉壓塊(6)的中部通過所述壓塊螺栓(7)固定在所述旋轉銷(10)上。

8.根據權利要求3所述的基片固定裝置，其特征在于，所述旋轉銷(10)的下段外壁上設有旋轉銷凸起(101)，所述載板孔(22)的內壁上開設有與所述旋轉銷凸起(101)相適配的載板孔凹糟(23)。

9.根據權利要求8所述的基片固定裝置，其特征在于，所述載板孔凹糟(23)包括豎直段載板孔凹糟(231)和螺旋段載板孔凹糟(232)，所述豎直段載板孔凹糟(231)和所述螺旋段載板孔凹糟(232)相連通。

10.一種PVD立式產線設備，其特征在于，包含上述權利要求1至9中任一項所述的基片固定裝置。