[發(fā)明專利]用于制備化學(xué)機(jī)械平面化（CMP）拋光墊的氣溶膠方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711227509.X
• 申請(qǐng)日: 2017-11-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108115592A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: A·布羅德里克;D·A·布龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 陶氏環(huán)球技術(shù)有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): B24D13/00
• 分類號(hào): B24D13/00
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 錢(qián)文宇;陳哲鋒

1.一種形成化學(xué)機(jī)械平面化(CMP)拋光墊的方法，包含分別向在下游端具有噴嘴的靜態(tài)混合器中引入兩種不含溶劑并且大體上不含水的組分，各自在100到200kPa絕對(duì)壓力下具有溫度T1的液體多元醇組分和具有溫度T2的液體異氰酸酯組分，所述液體多元醇組分包含一種或多種多元醇，胺固化劑；并且所述液體異氰酸酯組分包含一種或多種聚異氰酸酯或異氰酸酯封端的氨基甲酸酯預(yù)聚物；按所述反應(yīng)混合物的總固體重量計(jì)，至少一種組分包含至多2.0wt.％的足夠量的非離子表面活性劑以促進(jìn)孔隙穩(wěn)定，在所述靜態(tài)混合器中混合所述兩種組分形成反應(yīng)混合物，在環(huán)境壓力下將所述反應(yīng)混合物的物料流從所述噴嘴排出到具有氨基甲酸酯離型表面的模具襯底上，并且在環(huán)境溫度到130℃下固化形成密度在0.6gm/cc到1gm/cc范圍內(nèi)的多孔性聚氨基甲酸酯反應(yīng)產(chǎn)物。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述噴嘴裝備有在所述噴嘴外部周圍的霧化空氣入口或空氣鼓風(fēng)蓋，由此空氣流流過(guò)所述噴嘴的尖端，接著沿所述反應(yīng)混合物的所述排出的物料流軸向流過(guò)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述反應(yīng)混合物不含添加的化學(xué)或物理起泡劑。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述反應(yīng)混合物在固化溫度下的膠凝時(shí)間是2到300秒。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中當(dāng)所述溫度T1的液體多元醇組分和所述溫度T2的液體異氰酸酯組分中的每一個(gè)引入到所述靜態(tài)混合器時(shí)，各自具有1到1000cP的粘度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在所述液體多元醇組分中，所述胺固化劑是芳香族二胺。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述液體多元醇組分另外包含多種微量元素。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在所述液體異氰酸酯組分中，所述異氰酸酯包含芳香族聚異氰酸酯或芳香族異氰酸酯封端的氨基甲酸酯預(yù)聚物。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述模具襯底包含具有凹形表面形態(tài)的敞開(kāi)式模具，所述表面形態(tài)隨著所述施加的反應(yīng)混合物填充所述模具形成CMP拋光墊的所需槽圖案。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中固化所述反應(yīng)混合物包含首先在環(huán)境溫度到130℃下固化1到30分鐘的時(shí)間段，從所述模具去除所述聚氨基甲酸酯反應(yīng)產(chǎn)物，接著最終在60到130℃的溫度下固化1分鐘到16小時(shí)的時(shí)間段形成多孔性物品。