[發明專利]一種太陽能電池的石墨舟飽和工藝在審
| 申請號： | 201711226025.3 | 申請日： | 2017-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN108110083A | 公開（公告）日： | 2018-06-01 |
| 發明（設計）人： | 常宇峰;繆強;宛正 | 申請（專利權）人： | 江蘇彩虹永能新能源有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京華仲龍騰專利代理事務所(普通合伙) 11548 | 代理人： | 李靜 |
| 地址： | 215600 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 飽和 石墨舟 太陽能電池 保護組件 氮化硅層 石墨舟片 鍍膜 卡點 飽和方式 飽和過程 成品電池 鍍膜顏色 工藝步驟 硅片鍍膜 漂洗 安裝卡 氮化硅 電池片 單片 烘干 無色 去除 組裝 合格率 拆除 | ||
【權利要求書】：
1.一種太陽能電池的石墨舟飽和工藝，包括去除氮化硅層、漂洗、烘干、組裝、飽和、拆裝、再飽和和鍍膜，其特征在于：工藝步驟如下：
S1、去除氮化硅層：使用5%-20%氫氟酸溶液去除石墨舟片所鍍氮化硅層；
S2、漂洗：使用純水對石墨舟片進行漂洗，漂洗4次每次2小時；
S3、烘干：用烘箱對石墨舟片進行烘干，烘干溫度80-120度；
S4、組裝：組裝石墨舟并安裝卡點保護組件，把陶瓷卡點保護組件內徑套住石墨舟卡點，按照這種方法保護所有石墨卡點，陶瓷套管用來避免石墨卡點周圈被鍍上氮化硅膜；
S5、飽和：飽和石墨舟,使用PECVD對石墨舟進行鍍舟飽和，所用飽和氣體是氨氣和硅烷；
S6、拆裝：拆除卡點保護組件并完成舟整體安裝與檢查；
S7、再飽和：再次飽主要是對石墨卡點進行飽和，所用飽和氣體是氨氣和硅烷；
S8、鍍膜：正常進行鍍膜工藝。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
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H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
