[發明專利]膜片、使用膜片的壓力傳感器、膜片的制造方法

有效

• 申請號: 201711225821.5
• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN108120545B
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發明（設計）人: 小林智生;菅原量
• 申請（專利權）人: 精工電子有限公司
• 主分類號: G01L9/00
• 分類號: G01L9/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 肖日松;劉林華

1.一種膜片的制造方法，其是包括平板形狀的受壓部、以及框狀的支撐部的金屬制膜片的制造方法，

其特征在于，含有：

將原料合金的鑄錠冷加工為棒狀，以制作具有沿著加工方向延伸的金屬組織的棒體的工序；以及

在將所述棒體切斷為期望的大小以作為塊體之后，以成為金屬組織相對于所述受壓部的平板面平行地發展的朝向的方式，通過加工所述塊體一體地形成所述受壓部和所述支撐部的工序。

2.根據權利要求1所述的膜片的制造方法，其特征在于，所述受壓部包括Co-Ni基合金，該Co-Ni基合金的成分范圍按照質量比，含有Co：28～42%、Ni：15～40%，Cr：10～27%、Mo：3～12%、Ti：0.1～1%、Mn：1.5%以下、Fe：0.1～26%、C:0.1%以下、Nb：3%以下、W：5%以下，Al：0.5%以下，剩余部分包括不可避免的雜質。

3.根據權利要求1所述的膜片的制造方法，其特征在于，所述受壓部包括雙相不銹鋼，該雙相不銹鋼的成分范圍按照質量比，包括Cr：24～26%、Mo：2.5～3.5%、NI：5.5～7.5%、C：0.03%以下、N：0.08～0.3%，剩余部分包括Fe以及不可避免的雜質。