[發(fā)明專利]一種噴淋保濕晶圓門裝置

在審

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• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN107785295A
• 公開（公告）日: 2018-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳功;歐志榮;李壯
• 申請（專利權(quán)）人: 上海大族富創(chuàng)得科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 上海翰信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31270
• 代理人: 張維東

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種噴淋保濕晶圓門裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體或者其它相關(guān)行業(yè)，在某些工藝制程完成后(如PVD或者CVD工藝)，需要將晶圓片表面做機(jī)械研磨(比如chemical mechanical polishing工序)，控制晶圓片表面膜厚或者平整度。在做完機(jī)械研磨后，研磨設(shè)備先做表面清洗后，再將晶圓片送到下一個(gè)設(shè)備做深度清洗，由于晶圓片在傳輸過程中，晶圓片上的研磨工序殘留粉塵會干燥硬化，降低晶圓片的成品率，因此，在兩個(gè)工序之間的傳遞上下料的等待時(shí)間里，晶圓片都要保證潮濕。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供了一種噴淋保濕晶圓門裝置，克服了現(xiàn)有技術(shù)的困難，開創(chuàng)了一種提供噴淋保濕功能外，在潮濕環(huán)境中還滿足晶圓花籃的偵測功能、批號射頻讀取功能、花籃內(nèi)晶圓片狀態(tài)掃描功能的噴淋保濕晶圓門裝置。

本發(fā)明提供了一種噴淋保濕晶圓門裝置，包括：

底板；

晶圓花籃，所述晶圓花籃放置在底板上，用于放置晶圓片；

噴淋柱，所述噴淋柱位于所述底板上，用于對所述晶圓片進(jìn)行噴淋；

密封門，所述密封門位于所述底板的一側(cè)，包括密封門本體和活動門，所述密封門本體上具有所述晶圓盒穿過的窗口，所述活動門用于打開或關(guān)閉所述窗口。

進(jìn)一步，還包括第一支撐塊和第二支撐塊，所述晶圓花籃通過所述第一支撐塊和所述第二支撐塊放置在底板上，所述第二支撐塊上設(shè)置有感應(yīng)板，所述感應(yīng)板包括第一板和第二板，所述第一板和所述第二板呈V型，其中，所述第一板為感應(yīng)面，所述活動門上設(shè)置有用于感應(yīng)所述第一板的反射傳感器。

進(jìn)一步，所述反射傳感器位于所述活動門的內(nèi)部，所述活動門上與所述底板相對的面上設(shè)置有玻璃塊，以便所述反射傳感器透過所述玻璃塊感應(yīng)所述第一板。

進(jìn)一步，所述活動門的內(nèi)部還設(shè)置有掃描傳感器，所述掃描傳感器用于透過所述玻璃塊掃描所述晶圓花籃上的晶圓片狀態(tài)信息。

進(jìn)一步，所述窗口上設(shè)置有雨刮器。

進(jìn)一步，所述密封門包括電機(jī)、同步帶、絲杠組件和滑軌，所述電機(jī)、所述同步帶、所述絲杠組件和所述滑軌分別安裝在所述密封門內(nèi)部，所述活動門分別與所述滑軌和絲杠組件連接，所述絲杠組件和所述電機(jī)通過同步帶傳動連接，以帶動所述活動門沿著所述密封門的長度方向移動。

進(jìn)一步，所述密封門還包括兩個(gè)感應(yīng)片和兩個(gè)限位傳感器，兩個(gè)所述限位傳感器分別位于所述滑軌的兩端，每個(gè)所述限位傳感器感應(yīng)一個(gè)所述感應(yīng)片，所述感應(yīng)片安裝在所述活動門上。

進(jìn)一步，還包括天線，所述天線安裝在所述第一支撐塊上，用于接收所述晶圓花籃的ID信號。

進(jìn)一步，還包括擋板，所述擋板呈U型，用于罩在所述底板四周，并且呈U型擋板的開口朝向所述密封門。

進(jìn)一步，所述擋板為透明材料制成的擋板。

由于采用了上述技術(shù)，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)：

本發(fā)明的噴淋保濕晶圓門裝置通過噴淋柱對晶圓片進(jìn)行噴淋，有效防止晶圓片上因研磨殘留的粉末干燥硬化，而影響晶圓片的成品率。還有，天線能夠接收晶圓花籃發(fā)出的ID信號，反射傳感器通過與感應(yīng)板配合，確定底板上是否放置有晶圓花籃，以確定是否通知噴淋柱噴淋工作，掃描傳感器掃描晶圓花籃中的晶圓片狀態(tài)信息，并傳送給控制系統(tǒng)，以提供機(jī)械手臂進(jìn)行下一步的晶圓片取放動作。

以下結(jié)合附圖及實(shí)施例進(jìn)一步說明本發(fā)明。

附圖說明

圖1為本發(fā)明所述噴淋保濕晶圓門裝置的爆炸圖；

圖2為本發(fā)明所述密封門的主視圖；

圖3為本發(fā)明所述密封門的后視圖；

圖4為本發(fā)明所述密封門的爆炸圖；

圖5為本發(fā)明所述感應(yīng)板的示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖1所示，所述噴淋保濕晶圓門裝置包括擋板1、底板2、噴淋柱3、第一支撐塊4、第二支撐塊5、感應(yīng)板6、密封門7、晶圓花籃8和天線9，晶圓花籃8用于放置晶圓片，其通過第一支撐塊4和第二支撐塊5定位在底板2上，該第一支撐塊4和第二支撐塊5均呈L型，且對稱安裝在底板2的中間位置，對晶圓片進(jìn)行噴淋的噴淋柱3安裝在底板2上，在一個(gè)實(shí)施方式中，噴淋柱3的數(shù)量為兩個(gè)，其中，通過噴淋柱3的旋轉(zhuǎn)，或者噴淋柱3上噴頭的旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)了噴淋的角度調(diào)節(jié)，該兩個(gè)噴淋柱3位于底板2的同一側(cè)，與密封門7分別位于底板2的兩側(cè)，擋板1呈U型，罩在底板2四周，該呈U型擋板1的開口朝向密封門7，用于防止噴淋柱3噴淋時(shí)水的飛濺，該擋板1可以是透明擋板。天線9安裝在第一支撐塊4上，用于接收晶圓花籃8發(fā)出的ID信號，并傳送信息給控制系統(tǒng)。