[發明專利]一種延長C向藍寶石襯底拋光液使用壽命的方法有效
| 申請號： | 201711221272.4 | 申請日： | 2017-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN107907576B | 公開（公告）日： | 2020-02-04 |
| 發明（設計）人： | 杜志偉;王軍強 | 申請（專利權）人： | 河北宇天昊遠納米材料有限公司 |
| 主分類號： | G01N27/26 | 分類號： | G01N27/26 |
| 代理公司： | 12210 天津翰林知識產權代理事務所(普通合伙) | 代理人： | 付長杰 |
| 地址： | 052160 河北省石家*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 延長 藍寶石 襯底 拋光 使用壽命 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種延長C向藍寶石襯底拋光液使用壽命的方法，該方法的具體過程是：
1）在C向藍寶石進行化學機械拋光過程中，取C向藍寶石襯底拋光液，用Zeta電位分析儀測量電位，監測C向藍寶石襯底拋光液的Zeta電位變化情況；
2）當監測到C向藍寶石襯底拋光液的Zeta電位絕對值不大于20mv時，直接向正在使用的C向藍寶石襯底拋光液中添加非離子表面活性劑，當添加至C向藍寶石襯底拋光液Zeta電位絕對值不小于30.0mv時停止添加，然后每隔0.5-1.5小時再次監測Zeta電位，重復上述過程；所述非離子表面活性劑為十二烷基硫酸鈉、異構十醇聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚中的一種或幾種混合物。
2.根據權利要求1所述的延長C向藍寶石襯底拋光液使用壽命的方法，其特征在于所述非離子表面活性劑的添加量為剩余C向藍寶石襯底拋光液總含量的0.001-0.1wt%。
3.根據權利要求1所述的延長C向藍寶石襯底拋光液使用壽命的方法，其特征在于向C向藍寶石襯底拋光液中添加非離子表面活性劑的次數為2-4次。
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