[發(fā)明專利]一種多通道集成濾光片的制造方法

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• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN107703574A
• 公開（公告）日: 2018-02-16
• 發(fā)明（設計）人: 周東平
• 申請（專利權）人: 蘇州晶鼎鑫光電科技有限公司
• 主分類號: G02B5/20
• 分類號: G02B5/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發(fā)明涉及光學儀器技術領域，具體涉及一種多通道集成濾光片的制造方法。

背景技術

在現(xiàn)代光學儀器中，其中一種光學元件是濾光片，多通道濾光片是指集成有多個光學通道的濾光片。隨著光學技術和空間遙感應用技術的發(fā)展，對多通道濾光片的需求越來越多。

現(xiàn)有技術中所公開的多通道濾光片是通過對許多片單一通道的單片濾光片進行精密切割，然后拼接膠粘而成。由此產生的多通道濾光片機械性能差，在震動等惡劣環(huán)境中的耐受性能不高，而且由于缺乏統(tǒng)一的基準面，裝配調校困難，再者，具有體積較大的缺點，不利于光學儀器的小型化制造。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的在于提供一種多通道集成濾光片的制造方法。

為實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用如下技術方案：

一種多通道集成濾光片的制造方法，依次包括以下步驟：

S1、使用機械掩膜夾具裝夾基片，并將機械掩膜夾具和基片一起放入鍍膜工件載盤，再一并裝入真空鍍膜系統(tǒng)中，所述機械掩膜夾具上設有與某一待成型光學通道的位置、形狀相匹配的鏤空處；

S2、通過光學高真空蒸鍍工藝在機械掩膜夾具和鏤空處的基片表面上形成光學濾光片膜層；

S3、取出機械掩膜夾具和基片，并將基片由機械掩膜夾具中取出，以得到只在相應機械掩膜夾具鏤空區(qū)域內留有光學濾光片膜層的基片；

S4、更換機械掩膜夾具，重復上述步驟S1-S3，以在同一完整基片上設置至少兩處光學濾光片膜層。

作為本發(fā)明進一步改進的技術方案，所述機械掩膜夾具由不銹鋼、鋁、銅、鐵中的任一種材料所制成。

作為本發(fā)明進一步改進的技術方案，步驟S2中執(zhí)行光學高真空蒸鍍工藝的溫度為150至300攝氏度。

作為本發(fā)明進一步改進的技術方案，所述基片為玻璃、石英、藍寶石、硅、鍺、硫化鋅、硒化鋅光學基片材料中的一種。

作為本發(fā)明進一步改進的技術方案，所述光學濾光片膜層由SiO2、Ta2O5、Nb2O5、TiO2、ZrO2、Al2O3、MgF2中至少兩種材料構成的膜結構層疊構成。

作為本發(fā)明進一步改進的技術方案，步驟S1使用機械掩膜夾具裝夾基片前，先將基片清洗干凈并烘干。

相對于現(xiàn)有技術，本發(fā)明的技術效果在于：

本發(fā)明選用與光學通道一一對應的機械掩膜夾具，通過機械掩膜工藝和光學高真空蒸鍍工藝在一塊完整的基片上設置多處光學濾光片膜層，以形成多個光學通道，光學通道之間相互隔絕，互不干擾，各自通過要求的光譜波段上的光線，實現(xiàn)濾光功能。

由于是將多個光學濾光片膜層都制作在一片基片上，因此具有機械性能佳，在震動等惡劣環(huán)境中的耐受性能好的優(yōu)點，而且光學濾光片膜層具有統(tǒng)一的基準面，裝配調校容易，同時，體積較小，使得光學儀器的體積易于實現(xiàn)小型化，再者，各個光學通道制作均采用機械掩膜工藝，具有工藝簡單、良品率高、制備成本低的優(yōu)點。

附圖說明

圖1是多通道集成濾光片的制造過程示意圖。

具體實施方式

以下將結合具體實施方式對本發(fā)明進行詳細描述。但這些實施方式并不限制本發(fā)明，本領域的普通技術人員根據(jù)這些實施方式所做出的結構、方法、或功能上的變換均包含在本發(fā)明的保護范圍內。

需要說明的是，基片為扁平面狀，本文中所述的基片表面均是指基片延伸面積較大的兩個表面。

光學濾光片膜層可以設置于基片的同一側表面上，以在基片的同一側表面上形成光學通道，也可以設置在基片的不同表面上，以在基片的不同表面上形成光學通道。

以下提供本發(fā)明的一種實施方式：

一種多通道集成濾光片的制造方法，依次包括以下步驟：

S1、使用機械掩膜夾具裝夾基片，并將機械掩膜夾具和基片一起放入鍍膜工件載盤，再一并裝入真空鍍膜系統(tǒng)中，所述機械掩膜夾具上設有與某一待成型光學通道的位置、形狀相匹配的鏤空處；

S2、通過光學高真空蒸鍍工藝在機械掩膜夾具和鏤空處的基片表面上形成光學濾光片膜層；

S3、取出機械掩膜夾具和基片，并將基片由機械掩膜夾具中取出，以得到只在相應機械掩膜夾具鏤空區(qū)域內留有光學濾光片膜層的基片；

S4、更換機械掩膜夾具，重復上述步驟S1-S3，以在同一完整基片上設置至少兩處光學濾光片膜層。

進一步的，所述機械掩膜夾具由不銹鋼、鋁、銅、鐵中的任一種材料所制成。當然，也可選用其它易于加工的金屬材料制造機械掩膜夾具。