[發明專利]襯底加工設備和襯底加工方法

在審

• 申請號: 201711217554.7
• 申請日: 2017-11-28
• 公開（公告）號: CN108010870A
• 公開（公告）日: 2018-05-08
• 發明（設計）人: 劉桂勇;蘭立廣;宋士佳
• 申請（專利權）人: 北京創昱科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673;H01L21/02
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 周放;姜溯洲

1.一種襯底加工設備，其特征在于，包括：

卡塞(1)和水槽，所述卡塞(1)設置于所述水槽中，其中，

所述卡塞(1)具有邊框(3)，在所述邊框(3)內形成多層卡裝層(2)，所述卡裝層(2)用于插放襯底；

所述水槽內設置有注水口。

2.根據權利要求1所述的襯底加工設備，其特征在于，

還包括傳感器，所述傳感器的感應頭朝向所述卡裝層(2)。

3.根據權利要求2所述的襯底加工設備，其特征在于，

所述注水口上設置有水閥，所述水閥與所述傳感器電連接。

4.一種襯底加工方法，其特征在于，

對所述襯底進行拋光，將拋光后的所述襯底水平地插入卡塞(1)中的卡裝層(2)，并向水槽內注清潔水，所述清潔水浸沒所述卡裝層(2)中的襯底；

取出所述卡塞(1)，進入清洗工位，對每層所述卡裝層(2)中的襯底進行清洗；

將清洗后的所述襯底進行干燥。

5.根據權利要求4所述的襯底加工方法，其特征在于，

拋光后的所述襯底，從下到上的依次插入所述卡裝層(2)中，所述清潔水隨著所述襯底的插入，逐漸加注，浸沒最上層的所述襯底。

6.根據權利要求5所述的襯底加工方法，其特征在于，

傳感器獲取所述襯底插入的高度，并根據該高度控制所述清潔水的注入量。