[發明專利]抗蝕劑剝離液組合物

在審

• 申請號: 201711216194.9
• 申請日: 2017-11-28
• 公開（公告）號: CN108345189A
• 公開（公告）日: 2018-07-31
• 發明（設計）人: 房淳洪;崔漢永;洪憲杓
• 申請（專利權）人: 東友精細化工有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 金鮮英;宋?；?/td>

本發明提供一種抗蝕劑剝離液組合物，更詳細而言，提供以包含下述化學式1的化合物為特征的抗蝕劑剝離液組合物。下述化學式1中，R₁為被碳原子數1～3的烷氧基取代或非取代的烷基或羥基氨基，R₂為甲基或乙基，n為1～2的整數。本發明的抗蝕劑剝離液組合物通過包含特定化學式所表示的烷氧基羥基胺化合物，從而具有使揮發量最小化且即使長時間使用也能夠維持剝離速度的效果。[化學式1]

技術領域

本發明涉及抗蝕劑剝離液組合物。

背景技術

濾色器(color filter)可以通過內置于互補金屬氧化物半導體(complementarymetal oxide semiconductor，CMOS)或電荷耦合元件(charge coupled device，CCD)之類的圖像傳感器的彩色攝影裝置內來用于實際獲得彩色圖像，除此之外，也廣泛應用于攝影元件、等離子體顯示器面板(PDP)、液晶顯示裝置(LCD)、場發射顯示器(FED)和發光顯示器(LED)等中，其應用范圍正在迅速擴大。特別是，近年來液晶顯示裝置(LCD)的用途進一步擴大，因此認為在再現液晶顯示裝置(LCD)的色彩方面濾色器是最重要的構件之一。

濾色器基板由紅色(R)、綠色(G)、藍色(B)圖案和起到用于阻斷各像素之間的漏光并提高對比的作用的黑矩陣、以及對液晶盒施加電壓的共用電極構成。

濾色器是通過將根據用途選擇的黑矩陣材料涂布于玻璃基板上、形成黑色掩模圖案后、利用光刻工序形成彩色抗蝕劑圖案而制造。

這樣的濾色器制造工序中，會不可避免地發生彩色抗蝕劑圖案的不良。但是，如果彩色抗蝕劑一旦固化，則幾乎不可能僅通過對錯誤的部分去除來進行修理，并且幾乎沒有能夠將彩色抗蝕劑去除的溶劑，因此就發生不良的濾色器而言，無法進行修理等重新加工，大部分會被直接廢棄處理，因而存在生產率降低的問題。

抗蝕劑大體可以分為正型抗蝕劑和負型抗蝕劑。正型抗蝕劑的去除相對容易，可以利用以有機溶劑為基礎的剝離劑在40～50℃的溫度條件下在1分鐘之內被去除，負型抗蝕劑具有由于固化度高且熱處理后變硬而剝離去除困難的特性。因此，為了去除彩色抗蝕劑，需要在70℃以上的溫度條件進行5分鐘以上的時間，因此要求更強的剝離性能。

上述各個條件中最主要的項目是對于成為對象的彩色抗蝕劑應當具備優異的去除性能，并且應當具備不使彩色抗蝕劑下部層的絕緣膜或金屬膜損傷的低腐蝕性。為了滿足于此，研究、開發了具有多種多樣的組成的彩色抗蝕劑剝離液組合物。

此外，韓國注冊專利第10-1333779號公開了一種彩色抗蝕劑剝離液組合物，其特征在于，是TFT-LCD用彩色抗蝕劑剝離液組合物，包含(a)選自由無機堿氫氧化物、氫氧化銨、具有碳原子數1～4的烷基的烷基氫氧化銨和具有碳原子數1～4的烷基的苯基烷基氫氧化銨組成的組中的氫氧化物化合物1～20重量％；(b)選自由具有碳原子數1～4的烷基的亞烷基二醇醚和亞烷基二醇組成的組中的一種以上的化合物1～70重量％；(c)羥基胺0.5～10重量％；(d)烷氧基烷基胺0.5～50重量％；和(e)余量的水。

但是，上述現有文獻由于使用了沸點低的羥基胺，因此存在如下問題：經時性能穩定性不足，并且因使用沸點低的原料而導致試劑損失(loss)增加，從而難以確保工序性。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：韓國注冊專利第10-1333779號(2013.11.21.株式會社東進世美肯)

發明內容

所要解決的課題

本發明是用于解決上述問題的發明，其目的在于，通過包含特定化學式所表示的烷氧基羥基胺化合物，從而提供使揮發量最小化且即使長時間使用也能夠維持剝離速度的抗蝕劑剝離液組合物。

解決課題的方法