[發明專利]一種蒸鍍設備

有效

• 申請號: 201711213508.X
• 申請日: 2017-11-27
• 公開（公告）號: CN107858651B
• 公開（公告）日: 2020-02-04
• 發明（設計）人: 馬凱葓;孫力
• 申請（專利權）人: 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12
• 代理公司: 11262 北京安信方達知識產權代理有限公司
• 代理人: 張京波;曲鵬

本發明公開了一種蒸鍍設備，涉及顯示技術領域。該蒸鍍設備包括對基板進行蒸鍍的多個蒸發源，還包括用于調節每個蒸發源蒸鍍范圍的隔板。該蒸鍍設備通過調節隔板，可以實現蒸發源的同時分別蒸鍍，還可以調節摻雜層的混合蒸鍍比，提高了蒸鍍設備的生產效率，簡化了調整混合蒸鍍比的操作工藝，實現了蒸發源的使用多樣性，有利于蒸鍍器件結構的開發。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種蒸鍍設備。

背景技術

OLED(Organic Light Emitting Diode，有機發光二極管)以其輕薄、低功耗、高對比度、高色域以及柔性顯示等諸多優點，逐漸成為下一代顯示器的發展趨勢。蒸鍍設備是用于制備OLED顯示器件中各功能層薄膜的重要研發和生產設備，其在有機太陽能電池(Organic Photo Voltage,OPV)、有機場效應晶體管(Organic Field-EffectTransistors，OFET)等諸多有機光電領域也被廣泛運用。

OLED顯示器件包括各種有機功能材料層，目前，制作OLED器件的主流技術是采用蒸鍍設備對待蒸鍍基板進行蒸鍍掃描，以形成OLED器件的各種有機材料功能層。

蒸鍍設備是在真空條件下，將材料加熱并鍍到基板上的一種方法。蒸鍍設備包括多個蒸發源，蒸發源以不斷加熱的方式在其上方形成了有機材料的蒸發范圍，當基板從蒸發源上方經過時，基板便被鍍上對應的有機材料。但是，現有的蒸鍍設備存在蒸鍍效率低、調節混合蒸鍍比的操作工藝復雜等技術問題，限制了OLED器件結構的開發。

發明內容

本發明實施例所要解決的技術問題是，提供一種蒸鍍設備，以解決現有蒸鍍設備生產效率低、調整混合蒸鍍比的操作工藝復雜等問題。

為了解決上述技術問題，本發明實施例提供了一種蒸鍍設備，包括對基板進行蒸鍍的多個蒸發源，還包括用于調節每個蒸發源蒸鍍范圍的隔板。

可選地，所述隔板設置在相鄰的蒸發源之間，所述隔板的第一端設置在所述蒸發源的蒸鍍面上，所述隔板的第二端延伸至所述基板的蒸鍍表面。

可選地，所述隔板的第一端設置有能夠使所述隔板旋轉的第一旋轉機構。

可選地，所述隔板包括位于第二端的第一子隔板，所述第一子隔板的橫截面寬度向上逐漸增大。

可選地，所述第一子隔板上設置有加熱裝置。

可選地，在蒸鍍面上、相鄰的蒸發源之間設置有連接機構，所述隔板的第一端可拆卸地連接在所述連接機構上。

可選地，所述隔板的高度可調節。

可選地，所述蒸發源的底部設置有能夠使所述蒸發源旋轉的第二旋轉機構，以調節所述蒸發源的蒸鍍范圍。

可選地，所述蒸鍍設備還包括設置在相鄰的蒸發源之間的阻擋板，所述阻擋板將相鄰的蒸發源分隔開。

可選地，所述阻擋板的頂部與所述隔板的第一端連接。

本發明實施例的蒸鍍設備，包括用于調節每個蒸發源蒸鍍范圍的隔板。當需要同時分別蒸鍍時，可將隔板設置在相鄰蒸發源之間以分割相鄰的蒸發源，實現同時分別蒸鍍；當需要混合蒸鍍時，可以將隔板拆除；當需要調節混合蒸鍍比時，可以旋轉隔板或調節隔板高度。總之，本發明提出的蒸鍍設備通過設置用于調節每個蒸發源蒸鍍范圍的隔板，提高了蒸鍍設備的生產效率，簡化了調整混合蒸鍍比的操作工藝，實現了蒸發源的使用多樣性，有利于蒸鍍器件結構的開發。特別在設備的投入成本受限時，可以參照本發明實施例提出的方案在現有蒸鍍設備上安裝隔板，以解決蒸發源數量不足的問題，使蒸發源充分發揮功能，有效地節省成本并開發出多種蒸鍍器件結構。。