[發明專利]一種蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 201711210074.8
• 申請日: 2017-11-27
• 公開（公告）號: CN107805782B
• 公開（公告）日: 2019-09-20
• 發明（設計）人: 譚偉
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56
• 代理公司: 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280
• 代理人: 鐘子敏

1.一種蒸鍍裝置，包括坩堝主體，其特征在于，還包括設置在所述坩堝主體四周的側面加熱裝置和設置在所述坩堝主體下方的底部加熱裝置；所述底部加熱裝置能夠沿著所述側面加熱裝置的高度方向上下移動，并支撐所述坩堝主體上升至高于所述側面加熱裝置的位置；所述側面加熱裝置底部設有向內延伸的底壁，所述底部加熱裝置承托于所述底壁上；所述底部加熱裝置邊緣設有延伸部，所述延伸部的下表面與所述底壁的上表面相接觸，以實現底部加熱裝置與側面加熱裝置的無縫貼合；所述延伸部的下表面與所述底部的上表面設有相互匹配的階梯狀結構。

2.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置還包括一升降裝置，所述升降裝置設置于所述坩堝主體和所述底部加熱裝置的下方，用于帶動所述坩堝主體沿所述坩堝主體的高度方向上下移動。

3.根據權利要求2所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述升降裝置包括伸縮部和傳動部，所述伸縮部與動力裝置相連，用于為傳動部提供移動的動力；所述傳動部用于支撐所述坩堝主體在加熱裝置內上下移動。

4.根據權利要求3所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置還包括一稱重裝置，所述稱重裝置位于所述傳動部和所述底部加熱裝置之間；所述稱重裝置與一顯示屏幕相連，用于實時將重量信息傳輸并顯示在所述顯示屏幕上。

5.根據權利要求4所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述底部加熱裝置呈多級內凸設置，所述坩堝主體底部的形狀與所述底部加熱裝置契合。

6.根據權利要求5所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述稱重裝置與所述底部加熱裝置的形狀相配合；所述稱重裝置與所述加熱裝置之間還設有隔熱材料。

7.根據權利要求6所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置還包括一控制系統，所述控制系統包括控制裝置、數據傳輸裝置、顯示裝置和動力控制裝置；所述控制裝置通過數據傳輸裝置與所述稱重裝置相連，所述控制裝置接收所述稱重裝置記錄重量數據，并將重量數據顯示在所述顯示裝置上；所述控制裝置通過數據傳輸裝置與動力控制裝置相連，所述動力控制裝置與所述動力裝置相連，控制所述動力裝置的轉動速度和方向。