[發明專利]半導體分立器件測試系統脈沖電流校準裝置及校準方法

有效

• 申請號: 201711209535.X
• 申請日: 2017-11-27
• 公開（公告）號: CN107991640B
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發明（設計）人: 瞿明生
• 申請（專利權）人: 貴州航天計量測試技術研究所
• 主分類號: G01R35/00
• 分類號: G01R35/00
• 代理公司: 貴陽中新專利商標事務所 52100
• 代理人: 商小川

1.一種半導體分立器件測試系統脈沖電流校準裝置的校準方法，所述脈沖電流校準裝置的分流器的電壓端G和H分別與數字多用表的電壓測量輸入端HI和LO連接；分流器的電壓端G和H分別與半導體分立器件測試系統的采樣端B和C連接；分流器的電流端E和F分別與半導體分立器件測試系統的脈沖電流輸出端A和D連接；所述校準方法包括：

步驟1、將半導體分立器件測試系統輸出的脈沖電流信號加到分流器的電流端E和F上，分流器的電壓端G和H輸出的電壓信號加到數字多用表的電壓測量輸入端HI和LO上；

步驟2、根據要校準的電流點，設置半導體分立器件測試系統輸出的脈沖電流I和脈沖寬度T；

步驟3、設置數字多用表的測量功能：設置為直流電壓DCV測量功能；

步驟4、設置數字多用表的觸發功能：設置為內部電平觸發功能；

步驟5、設置數字多用表的觸發電平：如半導體分立器件測試系統輸出的脈沖電流為I，分流器的電阻為R，設置數字多用表的觸發電平在0～V之間；V為分流器兩端產生的脈沖電壓幅度值，由公式

V＝IR計算得出；

步驟6、設置數字多用表的觸發方式：被測信號為正脈沖時設置為上升沿觸發，被測信號為負脈沖時設置為下降沿觸發；

步驟7、設置數字多用表的積分時間：根據被測信號的精度要求，決定其分辨率，由分辨率設置數字多用表的積分時間；

步驟8、啟動半導體分立器件測試系統脈沖電流輸出；

步驟9、根據數字多用表測得的電壓值為V₀，根據公式I₀＝V₀/R計算出I₀,則電流測量相對誤差δ_I＝(I-I₀)/I₀。

2.根據權利要求1所述的一種半導體分立器件測試系統脈沖電流校準裝置的校準方法，其特征在于：所述分流器為加拿大高聯公司生產的9230A系列精密電流分流器。

3.根據權利要求1所述的一種半導體分立器件測試系統脈沖電流校準裝置的校準方法，其特征在于：數字多用表為美國安捷倫公司的34411A型數字多用表。