[發(fā)明專利]硅片制絨槽

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711203658.2
• 申請(qǐng)日: 2017-11-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107988628B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-01-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳五奎;劉強(qiáng);馮加保
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 樂(lè)山新天源太陽(yáng)能科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L31/0236;H01L31/18;C30B29/06;C30B33/10
• 代理公司: 51232 成都點(diǎn)睛專利代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 李玉興

本發(fā)明公開(kāi)了一種能夠保證槽體內(nèi)溶液溫度，便于制絨溫度控制的硅片制絨槽。該硅片制絨槽，包括槽體、加熱控制器；所述槽體的一端設(shè)置有入水槽，另一端設(shè)置有出水槽；所述入水槽一端通過(guò)第一勻流板與槽體連通，另一端的上方設(shè)置有入水箱；所述入水槽內(nèi)由一端向另一端依次設(shè)置有橫向加熱電阻、豎向加熱電阻以及攪拌裝置；所述橫向加熱電阻位于入水箱的下方；且在豎直方向上均勻分布；所述豎向加熱電阻沿水平方向上均勻分布；所述出水槽的一端通過(guò)第二勻流板與槽體連通，另一端設(shè)置有出水口；所述槽體的底部設(shè)置有保溫加熱電阻，所述槽體內(nèi)設(shè)置有溫度傳感器。采用該硅片制絨槽，溫度控精度高，整個(gè)工藝槽內(nèi)化學(xué)反應(yīng)穩(wěn)定，可控，便于工藝調(diào)整。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及硅片的制絨，尤其是一種硅片制絨槽。

背景技術(shù)

眾所周知的：硅片在經(jīng)過(guò)一系列的加工程序之后需要進(jìn)行清洗，清洗的目的是要消除吸附在硅片表面的各類污染物，并制作能夠減少表面太陽(yáng)光反射的絨面結(jié)構(gòu)，且清洗的潔凈程度直接影響著電池片的成品率和可靠率。制絨是制造晶硅電池的第一道工藝，又稱“表面織構(gòu)化”。有效的絨面結(jié)構(gòu)使得入射光在硅片表面多次反射和折射，增加了光的吸收，降低了反射率，有助于提高電池的性能。

考慮到制絨工藝段對(duì)整個(gè)生產(chǎn)線的重要作用，針對(duì)影響制絨反應(yīng)的因素，對(duì)設(shè)備工藝段的設(shè)計(jì)進(jìn)行更加精細(xì)的調(diào)整：

制絨作為化學(xué)反應(yīng)，首先應(yīng)考慮反應(yīng)的條件，即化學(xué)液的溫度及各組分的濃度等?，F(xiàn)在的工業(yè)生產(chǎn)對(duì)制絨工藝溫度控制提出了較高的要求，為了保證反應(yīng)條件的一致性，溫控精度要在±1℃內(nèi)，整個(gè)工藝槽內(nèi)化學(xué)反應(yīng)才能更穩(wěn)定和可控，實(shí)現(xiàn)有效控制溶液的反應(yīng)速度和揮發(fā)量，便于工藝調(diào)整?，F(xiàn)有的制絨槽對(duì)溶液溫度的控制不夠穩(wěn)定，無(wú)法保證制絨對(duì)溶液溫度的要求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能夠保證槽體內(nèi)溶液溫度，便于制絨溫度控制的硅片制絨槽。

本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：硅片制絨槽，包括槽體、加熱控制器；所述槽體的一端設(shè)置有入水槽，另一端設(shè)置有出水槽；

所述入水槽一端通過(guò)第一勻流板與槽體連通，另一端的上方設(shè)置有與入水槽連通的入水箱；所述入水箱具有入水口，所述入水槽內(nèi)由入水槽的一端向另一端依次設(shè)置有橫向加熱電阻、豎向加熱電阻以及攪拌裝置；所述橫向加熱電阻位于入水箱的下方；且在豎直方向上均勻分布；所述豎向加熱電阻沿水平方向上均勻分布；所述攪拌裝置位于第一勻流板的一側(cè)；

所述出水槽的一端通過(guò)第二勻流板與槽體連通，另一端設(shè)置有出水口；所述槽體的底部設(shè)置有保溫加熱電阻，所述槽體內(nèi)設(shè)置有溫度傳感器，所述溫度傳感器、橫向加熱電阻、豎向加熱電阻以及保溫加熱電阻均與加熱控制器電連接。

進(jìn)一步的，所述槽體具有的開(kāi)槽口的上端上設(shè)置有保溫加熱裝置。

進(jìn)一步的，所述豎向加熱電阻端延伸到槽體內(nèi)，另一端設(shè)置有固定安裝板，所述豎向加熱電阻穿過(guò)固定安裝板且與固定安裝板螺紋配合。

進(jìn)一步的，所述攪拌裝置包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)、攪拌軸；所述攪拌軸豎直插入到槽體內(nèi)，所述攪拌軸上設(shè)置有攪拌葉片，所述攪拌軸通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)。

進(jìn)一步的，所述攪拌葉片在攪拌軸上沿軸線方向均勻分布，且沿?cái)嚢栎S的圓周方向均勻分布。

進(jìn)一步的，所述攪拌軸的軸線方向上同一高度的攪拌葉片為攪拌葉片組；每組攪拌葉片組至少包括三片攪拌葉片。

進(jìn)一步的，在攪拌軸上至少具有三組攪拌葉片組。