[發(fā)明專利]X-CT系統(tǒng)用測量夾具

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711203341.9
• 申請日: 2017-11-27
• 公開（公告）號: CN108051456A
• 公開（公告）日: 2018-05-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 荊曉冬;梁法國;鄭世棋;吳愛華;翟玉衛(wèi);王一幫;劉晨;喬玉娥
• 申請（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04
• 代理公司: 石家莊國為知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 13120
• 代理人: 張二群

本發(fā)明公開了一種X?CT系統(tǒng)用測量夾具，屬于測試夾具領(lǐng)域。所述測量夾具包括：樣品臺，底面設(shè)置與掃描轉(zhuǎn)臺匹配的定位凹臺；載片柱，下部與所述樣品臺固定連接，且所述載片柱的旋轉(zhuǎn)軸與所述樣品臺的旋轉(zhuǎn)軸平行，中部為柱體，上部為設(shè)置在所述柱體頂面上、與所述柱體成一體結(jié)構(gòu)的透明薄板；膠片，用于粘結(jié)待測器件，設(shè)置在所述透明薄板的表面。上述技術(shù)方案中，透明薄板不會相對樣品臺產(chǎn)生相對位移，進(jìn)而微小器件也不會發(fā)生位移，測量結(jié)果準(zhǔn)確、可靠，同時(shí)透明薄板減小了對X射線的衰減，實(shí)現(xiàn)了用X?CT高準(zhǔn)確度地測量微小器件的結(jié)構(gòu)，填補(bǔ)了微小器件測試夾具的空白。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于測試夾具技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種X-CT系統(tǒng)用測量夾具，用于夾持測量半導(dǎo)體芯片微米級結(jié)構(gòu)的三維形貌。

背景技術(shù)

X-CT(X-ray computed tomography，X射線電子計(jì)算機(jī)斷層掃描)技術(shù)是運(yùn)用物理技術(shù)，以測定X射線在物體內(nèi)的衰減系數(shù)為基礎(chǔ)，采用數(shù)學(xué)方法，經(jīng)計(jì)算機(jī)處理，求解出衰減系數(shù)值在物體某剖面上的二維分布矩陣，轉(zhuǎn)變?yōu)閳D像上的灰度分布，從而實(shí)現(xiàn)重新建立斷面圖像的成像技術(shù)。

X-CT技術(shù)多應(yīng)用于醫(yī)學(xué)影像之中，通過X-CT建立人體內(nèi)部病變處斷面的圖像，能夠幫助醫(yī)生觀測患者病情。隨著科技的發(fā)展，X-CT逐漸被更多地應(yīng)用在醫(yī)學(xué)以外的領(lǐng)域，如工業(yè)檢測、安保檢測、科研測量、3D成像等領(lǐng)域。

利用顯微X-CT技術(shù)能夠完成微米量級物體三維形貌的測量工作。在測量過程中，被測樣品由測量夾具固定在360°旋轉(zhuǎn)的掃描轉(zhuǎn)臺上，從各個(gè)角度獲取大量的圖像信息，之后將各個(gè)角度的圖像信息分析整合，最終重建出被測物體表面或內(nèi)部結(jié)構(gòu)的三維形貌。

現(xiàn)有測量夾具多用于測量體積較大的樣品上微米級結(jié)構(gòu)的三維形貌，不適用于測量體積很小的半導(dǎo)體芯片等微小器件上的微米級結(jié)構(gòu)。原因分析如下：現(xiàn)有測量夾具的結(jié)構(gòu)中包括與所述掃描轉(zhuǎn)臺定位的樣品臺，在所述樣品臺上活動限位有兩片平行的金屬板，通過調(diào)節(jié)貫穿所述金屬板的定位銷和螺柱來調(diào)節(jié)兩者之間距離，進(jìn)而達(dá)到夾緊并定位被測物體的效果。

然而，現(xiàn)有夾具兩金屬板之間的最小間距為2.5mm，對于微小器件而言，如1500μm×1500μm的芯片而言，該間隙太大，采用現(xiàn)有夾具無法可靠固定，尤其當(dāng)掃描微米量級結(jié)構(gòu)時(shí)，需要將近16個(gè)小時(shí)，在長時(shí)間的掃描過程中，若被測物體在某一時(shí)刻出現(xiàn)偏移晃動，會導(dǎo)致最終重構(gòu)出的圖像與實(shí)際不同，可靠性很差，或者定位方式影響圖像采集。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例的目的在于提供一種X-CT系統(tǒng)用測量夾具，旨在解決現(xiàn)有測量夾具不能有效固定微小器件、造成測量偏差很大的問題。

本發(fā)明實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種X-CT系統(tǒng)用測量夾具，包括：

樣品臺，底面設(shè)置與掃描轉(zhuǎn)臺匹配的定位凹臺；

載片柱，下部與所述樣品臺固定連接，且所述載片柱的旋轉(zhuǎn)軸與所述樣品臺的旋轉(zhuǎn)軸平行，中部為柱體，上部為設(shè)置在所述柱體頂面上、與所述柱體成一體結(jié)構(gòu)的透明薄板；

膠片，用于粘結(jié)待測器件，設(shè)置在所述透明薄板的表面。

進(jìn)一步地，還包括：透明保護(hù)罩，設(shè)置在所述芯片粘貼板的外周，且下端與所述載片柱的中部過盈配合。

本發(fā)明實(shí)施例的有益效果在于：所述樣品臺與載片柱固定連接，在所述載片柱上設(shè)置一體結(jié)構(gòu)的透明薄板，所述透明薄板用于粘貼待測的微小器件，實(shí)現(xiàn)微小器件的可靠定位，在掃描旋轉(zhuǎn)過程中，透明薄板不會相對樣品臺產(chǎn)生相對位移，進(jìn)而微小器件也不會發(fā)生位移，測量結(jié)果準(zhǔn)確、可靠，同時(shí)透明薄板減小了對X射線的衰減，實(shí)現(xiàn)了用X-CT高準(zhǔn)確度地測量微小器件的結(jié)構(gòu)，填補(bǔ)了微小器件測試夾具的空白。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例一提供的測量夾具的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1中載片柱的主視結(jié)構(gòu)示意圖；