[發(fā)明專利]一種減小射頻四極桿傳輸質(zhì)量歧視的裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711203282.5
• 申請(qǐng)日: 2017-11-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109841489A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳平;王禎鑫;趙琨;鞠幫玉;李海洋
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所
• 主分類號(hào): H01J49/06
• 分類號(hào): H01J49/06;H01J49/42
• 代理公司: 沈陽(yáng)科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 馬馳

1.一種減小射頻四極桿傳輸質(zhì)量歧視的裝置，其特征在于：包括由引入孔電極（1），引出孔電極（2），分段電極（3）；引入孔電極（1）和引出孔電極（2）均為中部開(kāi)設(shè)有通孔的平板狀電極，引入孔電極（1）和引出孔電極（2）平行且中心通孔同軸設(shè)置；在引入孔電極（1）和引出孔電極（2）之間設(shè)置有分段電極（3）；分段電極（3）由四組電極陣列構(gòu)成；每組電極陣列均由四個(gè)或五個(gè)以上同軸相等間隔設(shè)置的、相同形狀尺寸的圓柱或者圓環(huán)電極組成一電極桿；四個(gè)電極桿的首尾二個(gè)端面分別處于相互平行的二個(gè)平面上，且四個(gè)電極桿的軸線于每個(gè)平面上的交點(diǎn)均布同一個(gè)圓的圓周上；且該圓的圓心位于引入孔電極（1）和引出孔電極（2）中心通孔的軸線上；

在引入孔電極（1）和引出孔電極（2）上分別施加DC1和DC2的直流電壓；

在分段電極（3）的四組電極陣列中的任何一組上的同心圓柱或者圓環(huán)電極的首尾二端施加直流電壓，且任何一組上相鄰的同心圓柱或者圓環(huán)電極之間都由分壓電阻均勻分壓串聯(lián)；且從首端起，按從1-n的序號(hào)順序的圓柱或圓環(huán)電極上各自通過(guò)電容耦合施加n個(gè)不同的射頻電壓，再次重新計(jì)算序號(hào)且按從1-n的序號(hào)順序重復(fù)上述射頻電壓的施加過(guò)程直至尾端；n為大于等于2的整數(shù)，且在分段電極（3）的四組電極陣列中的任何一組上的同心圓柱或者圓環(huán)電極個(gè)數(shù)為n的2個(gè)以上的整數(shù)倍；

四組電極陣列中一對(duì)間隔相對(duì)設(shè)置的電極陣列連接射頻電壓的正相輸出，另一組壓相對(duì)設(shè)置電極陣列施加連接射頻電壓的反相輸出；

一定能量的離子束穿過(guò)引入孔電極（1）進(jìn)入分段電極（3）的區(qū)域，離子在交替的射頻電場(chǎng)作用下通過(guò)，最終從引出孔電極（2）的中心小孔引出。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述減小射頻四極桿傳輸質(zhì)量歧視的裝置，其特征在于：

在引入孔電極（1）和引出孔電極（2）上分別施加DC1和DC2的直流電壓；

在分段電極（3）的四組電極陣列中的任何一組上的同心圓柱或者圓環(huán)電極的首尾二端施加直流電壓，且任何一組上相鄰的同心圓柱或者圓環(huán)電極之間都由分壓電阻均勻分壓串聯(lián)；且從首端至尾端奇數(shù)序號(hào)的圓柱或圓環(huán)電極上各自通過(guò)電容耦合施加射頻電壓RF2，其對(duì)應(yīng)的頻率為W2，幅值為V2；偶數(shù)序號(hào)的圓柱或者圓環(huán)電各自通過(guò)電容耦合極施加射頻電壓RF1，其對(duì)應(yīng)的頻率為W1，幅值為V1；

四組電極陣列中一對(duì)間隔相對(duì)設(shè)置的電極陣列連接射頻電壓RF1或者RF2的正相輸出，另一組壓相對(duì)設(shè)置電極陣列施加連接射頻電壓RF1或者RF2的反相輸出。