[發(fā)明專利]一種掠入射X射線顯微鏡的強(qiáng)度標(biāo)定方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711203254.3
• 申請(qǐng)日: 2017-11-27
• 公開（公告）號(hào): CN108169790B
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 穆寶忠;李亞冉;謝青;陳志強(qiáng);忻秋琪;王麗曉;王新;王占山
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 同濟(jì)大學(xué)
• 主分類號(hào): G01T7/00
• 分類號(hào): G01T7/00
• 代理公司: 上海科盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31225
• 代理人: 趙繼明

1.一種掠入射X射線顯微鏡的強(qiáng)度標(biāo)定方法，其特征在于，所述的方法包括以下步驟：

S1、安裝系統(tǒng)中各實(shí)驗(yàn)部件并進(jìn)行實(shí)驗(yàn)部件調(diào)整使系統(tǒng)達(dá)到最優(yōu)分辨率；

S2、移動(dòng)針孔光闌，測(cè)量各個(gè)視場(chǎng)位置的出射光譜；

S3、將X射線顯微鏡從光路中移出，在孔徑光闌后方測(cè)量各個(gè)視場(chǎng)下系統(tǒng)的入射光譜；

S4、利用測(cè)得的出射光譜和入射光譜對(duì)能量分辨范圍內(nèi)的光子進(jìn)行計(jì)數(shù)，計(jì)算各個(gè)視場(chǎng)的物鏡反射率；

S5、利用物鏡反射率計(jì)算系統(tǒng)響應(yīng)效率；

S6、根據(jù)顯微鏡的系統(tǒng)響應(yīng)效率、濾片的透過率以及相機(jī)的量子效率，計(jì)算得到內(nèi)爆靶丸的源強(qiáng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掠入射X射線顯微鏡的強(qiáng)度標(biāo)定方法，其特征在于，所述的步驟S5中系統(tǒng)響應(yīng)效率R_kb計(jì)算公式為：

其中，M為放大倍數(shù)，Ω為集光立體角，η_kb為物鏡反射率。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種掠入射X射線顯微鏡的強(qiáng)度標(biāo)定方法，其特征在于，所述的步驟S4中物鏡反射率計(jì)算公式為：

η_kb＝Φ₂(λ)/Φ₁(λ)

其中，Φ₁(λ)表示入射光通量，Φ₂(λ)表示出射光通量。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種掠入射X射線顯微鏡的強(qiáng)度標(biāo)定方法，其特征在于，所述的放大倍數(shù)M是在對(duì)網(wǎng)格背光成像的基礎(chǔ)上，分別在水平和豎直方向通過對(duì)比網(wǎng)格周期間距的實(shí)測(cè)值與標(biāo)稱值得到。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種掠入射X射線顯微鏡的強(qiáng)度標(biāo)定方法，其特征在于，所述的集光立體角Ω計(jì)算公式為：

Ω＝πD²/4u²

其中，D是孔徑光闌的直徑，u是物距。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掠入射X射線顯微鏡的強(qiáng)度標(biāo)定方法，其特征在于，所述的步驟S6中內(nèi)爆靶丸的源強(qiáng)根據(jù)以下公式獲得：

其中，RD為入射光子轉(zhuǎn)化成的光強(qiáng)計(jì)數(shù)，bkg為由電、熱噪聲所引起的背景計(jì)數(shù)，η_kb為物鏡反射率，η_f為濾片的透過率，η_ccd為相機(jī)的量子效率，M為放大倍數(shù)，Ω為集光立體角，L(x₀,y₀,λ)為內(nèi)爆靶丸面積微元的光亮度，(x₀,y₀)為內(nèi)爆靶丸面積微元中心坐標(biāo)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掠入射X射線顯微鏡的強(qiáng)度標(biāo)定方法，其特征在于，所述的步驟S1中的系統(tǒng)包括X射線光管、針孔光闌、孔徑光闌、X射線顯微鏡和譜分辨探測(cè)器，所述的X射線光管、針孔光闌、孔徑光闌、X射線顯微鏡和譜分辨探測(cè)器依次排列，所述的系統(tǒng)設(shè)置兩塊前后正交放置的X射線顯微鏡。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掠入射X射線顯微鏡的強(qiáng)度標(biāo)定方法，其特征在于，所述的針孔光闌的針孔直徑為10～20μm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掠入射X射線顯微鏡的強(qiáng)度標(biāo)定方法，其特征在于，所述的方法進(jìn)行一維或二維視場(chǎng)下的出射光譜和入射光譜測(cè)量。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掠入射X射線顯微鏡的強(qiáng)度標(biāo)定方法，其特征在于，根據(jù)各個(gè)視場(chǎng)的物鏡反射率，獲得物鏡反射率與視場(chǎng)位置變化曲線，作為計(jì)算單波長(zhǎng)光源或多波長(zhǎng)范圍光源源強(qiáng)的依據(jù)。