[發明專利]一種耐磨增透的熔融石英窗口片的制造方法

在審

• 申請號: 201711201301.0
• 申請日: 2017-11-27
• 公開（公告）號: CN109837529A
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發明（設計）人: 韓崇利
• 申請（專利權）人: 成都中源紅科技有限公司
• 主分類號: C23C16/505
• 分類號: C23C16/505;C23C16/40;C23C16/26;C03C17/34
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1.一種耐磨增透的熔融石英窗口片的制造方法，包括：基板、類金剛石薄膜和增透薄膜；所述基板用熔融石英制成；所述基板依次沉積有增透薄膜和類金剛石薄膜；所述增透薄膜設置有6層，每層厚度為40nm，所述類金剛石薄膜有4層，每層厚度為40-50nm；所述類金剛石薄膜沉積在基板兩側表面上，其特征在于，包括如下步驟：(1)以熔融石英為原料制造基板；(2)對基板的拋光面進行清洗預處理；(3)將基片放置在PECVD設備射頻陰極極板上，并將真空室真空抽至3×10^-3Pa，接著向射頻源充入氬氣，同時射頻源放電將氬氣離子化形成氬離子，氬離子對準基片進行7-15min轟擊；(4)向真空室內充滿乙烯基倍半硅氧烷，即在基片表面沉積形成增透膜；(5)將工件溫度緩慢降至室溫，降溫速率為50℃/h；(6)重復進行步驟(1)-(3)，之后向真空室充滿氣體丁烷，完成基片表面沉積形成類金剛石膜；(7)將工件溫度緩慢降至室溫，降溫速率為50℃/h即得。

2.根據權利要求1所述的一種耐磨增透的熔融石英窗口片的制造方法，其特征在于，所述步驟(6)中所述基片離射頻源190mm，丁烷充入的流量為50sccm。

3.根據權利要求1所述的一種耐磨增透的熔融石英窗口片的制造方法，其特征在于，所述清洗預處理具體為：將基片放置在酒精中超聲波清洗10min，然后用去離子水反復沖洗后吹干。

4.根據權利要求1所述的一種耐磨增透的熔融石英窗口片的制造方法，其特征在于，步驟(1)所述基片的制造過程包括：熔煉、成型、退火和檢驗。