[發(fā)明專利]一種改進(jìn)的蝕刻剝離試驗(yàn)設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711194799.2
• 申請(qǐng)日: 2017-11-24
• 公開（公告）號(hào): CN107699893B
• 公開（公告）日: 2019-07-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顧洪衛(wèi);朱永剛;殷福華;朱龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江陰江化微電子材料股份有限公司
• 主分類號(hào): C23F1/08
• 分類號(hào): C23F1/08
• 代理公司: 無錫堅(jiān)恒專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32348
• 代理人: 杜興

1.一種改進(jìn)的蝕刻剝離試驗(yàn)設(shè)備，包括密閉的操作箱體，操作箱體的兩側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)置有凸出的進(jìn)料口和出料口，進(jìn)料口、操作箱體和出料口中設(shè)置有輸送機(jī)構(gòu)，輸送機(jī)構(gòu)由若干根具有輸送輪的輸送輥組成，輸送機(jī)構(gòu)上方設(shè)置有與藥液槽相通的噴淋組件，其特征在于，還包括可升降的梳齒架和與藥液槽相通的浸泡槽，梳齒架的底端梳齒上下對(duì)應(yīng)設(shè)置在輸送輥之間，浸泡槽通過復(fù)位機(jī)構(gòu)與操作箱體連接，復(fù)位機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)浸泡槽位移至梳齒架下方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進(jìn)的蝕刻剝離試驗(yàn)設(shè)備，其特征在于，梳齒為U形桿，梳齒架的梳齒相平行設(shè)置，U形桿的底端托桿上套設(shè)有膠圈，所述膠圈用于與待處理工件的底面相貼合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進(jìn)的蝕刻剝離試驗(yàn)設(shè)備，其特征在于，復(fù)位機(jī)構(gòu)包括翻轉(zhuǎn)氣缸，浸泡槽的側(cè)面底邊與操作箱體的側(cè)壁鉸接連接，翻轉(zhuǎn)氣缸設(shè)置在浸泡槽與操作箱體的側(cè)壁之間，翻轉(zhuǎn)氣缸用于驅(qū)動(dòng)浸泡槽繞其鉸接軸轉(zhuǎn)動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的改進(jìn)的蝕刻剝離試驗(yàn)設(shè)備，其特征在于，翻轉(zhuǎn)氣缸為伸縮氣缸或者回轉(zhuǎn)氣缸。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進(jìn)的蝕刻剝離試驗(yàn)設(shè)備，其特征在于，操作箱體內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)軌，導(dǎo)軌的軸向與待處理工件的進(jìn)料方向一致，浸泡槽通過滑塊與導(dǎo)軌配合，浸泡槽還配合設(shè)置有橫移氣缸，橫移氣缸的缸體與導(dǎo)軌或者操作箱體連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的改進(jìn)的蝕刻剝離試驗(yàn)設(shè)備，其特征在于，梳齒架的頂端通過升降氣缸與操作箱體連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進(jìn)的蝕刻剝離試驗(yàn)設(shè)備，其特征在于，浸泡槽中設(shè)置有加熱機(jī)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的改進(jìn)的蝕刻剝離試驗(yàn)設(shè)備，其特征在于， U形桿為空心桿體，U形桿上設(shè)置有鼓泡孔，U形桿通過進(jìn)氣管與氣源聯(lián)通。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或8所述的改進(jìn)的蝕刻剝離試驗(yàn)設(shè)備，其特征在于，槽體內(nèi)表面設(shè)置有槽鼓泡管，槽鼓泡管與氣源相通。