[發(fā)明專利]單泵雙端泵浦紫外激光器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711194383.0
• 申請(qǐng)日: 2017-11-24
• 公開（公告）號(hào): CN107749560A
• 公開（公告）日: 2018-03-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 任戩;劉猛;劉健
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市杰普特光電股份有限公司
• 主分類號(hào): H01S3/094
• 分類號(hào): H01S3/094;H01S3/109;H01S3/115;H01S3/117
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司44224
• 代理人: 石佩

1.一種單泵雙端泵浦紫外激光器，其特征在于，包括泵浦源、準(zhǔn)直透鏡、半透半反鏡、第一全反鏡、第一聚焦透鏡、第二全反鏡、第三全反鏡、第二聚焦透鏡、第一端鏡、第二端鏡、轉(zhuǎn)折鏡、第一尾端鏡、及擋光片；所述泵浦源用于發(fā)出泵浦光；所述半透半反鏡位于所述準(zhǔn)直透鏡與所述第二全反鏡之間；所述泵浦源發(fā)出的泵浦光經(jīng)所述準(zhǔn)直透鏡后變成平行的光線，然后經(jīng)過所述半透半反鏡，一部分泵浦光在所述半透半反鏡上發(fā)生反射，另一部分泵浦光透射所述半透半反鏡；所述第一端鏡、所述第二端鏡、所述轉(zhuǎn)折鏡、所述第一尾端鏡、及所述第二尾端鏡構(gòu)成諧振腔；所述激光晶體位于所述諧振腔內(nèi)，所述激光晶體設(shè)有第一入射端、及第二入射端；所述激光晶體位于所述第一端鏡與所述第二端鏡之間；所述轉(zhuǎn)折鏡與所述第一端鏡相對(duì)設(shè)置；所述二倍頻晶體、所述三倍頻晶體位于所述轉(zhuǎn)折鏡與所述第一尾端鏡之間；所述調(diào)Q晶體位于所述第二端鏡與所述第二尾端鏡之間；在所述半透半反鏡上反射出的泵浦光，經(jīng)過所述第一全反鏡反射后平行進(jìn)入所述第一聚焦透鏡，所述第一全反鏡反射出的泵浦光經(jīng)過所述第一聚焦透鏡聚焦，并從所述第一入射端入射所述激光晶體；透射過所述半透半反鏡的泵浦光依次被所述第二全反鏡、所述第三全反鏡反射，所述第三全反鏡反射出的泵浦光經(jīng)過所述第二聚焦透鏡聚焦，并從所述第二入射端入射所述激光晶體；泵浦光從兩端入射所述激光晶體后，在諧振腔內(nèi)產(chǎn)生1064nm基頻連續(xù)光；通過所述調(diào)Q晶體對(duì)所述諧振腔的Q值進(jìn)行調(diào)節(jié)，得到在所述諧振腔內(nèi)來回反射的1064nm脈沖光；沿所述轉(zhuǎn)折鏡到所述第一尾端鏡的方向，1064nm脈沖光經(jīng)所述三倍頻晶體折射后，入射所述二倍頻晶體內(nèi)，1064nm脈沖光經(jīng)過所述二倍頻晶體時(shí)，產(chǎn)生倍頻效應(yīng)，部分1064nm脈沖光轉(zhuǎn)化為532nm的綠光，轉(zhuǎn)化得到的532nm綠光和剩余的1064nm脈沖光經(jīng)過所述第一尾端鏡反射，再一次經(jīng)過所述二倍頻晶體，又有一部分1064nm脈沖光轉(zhuǎn)化為532nm的綠光；部分532nm綠光和部分未轉(zhuǎn)化的1064nm脈沖光在所述三倍頻晶體內(nèi)進(jìn)行和頻，產(chǎn)生355nm紫外激光；355nm紫外激光、532nm綠光、及1064nm脈沖光經(jīng)所述三倍頻晶體遠(yuǎn)離所述二倍頻晶體的一端折射后分開，355nm紫外激光射出至所述諧振腔外，532nm綠光利用所述擋光片阻擋，1064nm脈沖光沿原路返回。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單泵雙端泵浦紫外激光器，其特征在于，所述半透半反鏡反射50％泵浦光、透射50％泵浦光。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單泵雙端泵浦紫外激光器，其特征在于，所述第一聚焦透鏡將泵浦光聚焦在所述激光晶體內(nèi)且與所述第一入射端相距1～2mm處，所述第二聚焦透鏡將泵浦光聚焦在所述激光晶體內(nèi)且與所述第二入射端相距1～2mm處。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單泵雙端泵浦紫外激光器，其特征在于，所述準(zhǔn)直透鏡為平凸透鏡，所述半透半反鏡與所述準(zhǔn)直透鏡的凸面相對(duì)設(shè)置并相對(duì)于所述準(zhǔn)直透鏡的平面傾斜。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單泵雙端泵浦紫外激光器，其特征在于，所述第一全反鏡、所述第二全反鏡、及所述第三全反鏡為808nm或880nm高反的鏡片。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的單泵雙端泵浦紫外激光器，其特征在于，所述第一端鏡、所述第二端鏡為808nm或880nm增透、1064nm高反的鏡片；所述第一尾端鏡為1064nm和532nm高反的鏡片；所述第二尾端鏡為1064nm高反的鏡片；所述轉(zhuǎn)折鏡為1064nm高反的鏡片。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單泵雙端泵浦紫外激光器，其特征在于，所述調(diào)Q晶體為聲光Q晶體、或電光Q晶體。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單泵雙端泵浦紫外激光器，其特征在于，所述激光晶體為Nd:YVO4、Nd:YAG、Nd:YLF或Nd:GVO4。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單泵雙端泵浦紫外激光器，其特征在于，所述二倍頻晶體為三硼酸鋰晶體、磷酸鈦氧鉀晶體、磷酸二氫鉀晶體、或偏硼酸鋇晶體。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單泵雙端泵浦紫外激光器，其特征在于，所述三倍頻晶體為三硼酸鋰晶體、或偏硼酸鋇晶體。