[發明專利]一種用于快速頻繁啟停的超精密三軸調整裝置

在審

• 申請號: 201711193948.3
• 申請日: 2017-11-24
• 公開（公告）號: CN108107532A
• 公開（公告）日: 2018-06-01
• 發明（設計）人: 李增強;潘鑫;石瑋;趙雙
• 申請（專利權）人: 哈工大機器人集團(哈爾濱)華粹智能裝備有限公司
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00;C12M1/34
• 代理公司: 哈爾濱龍科專利代理有限公司 23206
• 代理人: 高媛

1.一種用于快速頻繁啟停的超精密三軸調整裝置，其特征在于：所述的裝置包括底座組件(1)、X軸氣浮導軌(2)、Y軸氣浮導軌(3)及Z軸精密升降臺(4)；所述的底座組件(1)包括花崗巖底座(6)、X軸導軌座(8)、X軸光柵尺(9)、四個X軸限位組件(5)及兩個X軸直線電機定子(7)；所述的X軸氣浮導軌(2)包括X軸溜板(11)、Y軸光柵尺(13)、兩個Y軸直線電機定子(12)、兩個X軸直線電機線圈座(14)、兩個X軸直線電機線圈(15)及兩個Y軸限位組件(10)；所述的Y軸氣浮導軌(3)包括Y軸溜板(16)、Y軸導軌座(33)、兩個Y軸直線電機線圈座(17)及兩個Y軸直線電機線圈(18)；

所述的X軸導軌座(8)及兩個X軸直線電機定子(7)均安裝在花崗巖底座(6)上面，所述的X軸導軌座(8)位于兩個X軸直線電機定子(7)中間，所述的花崗巖底座(6)上面呈矩形布置并固定有四個支座，每個所述的支座上安裝有一個X軸限位組件(5)，X軸導軌座(8)中部沿X軸方向設有通槽，所述的X軸光柵尺(9)安裝在X軸導軌座(8)的通槽內；

所述的兩個X軸直線電機線圈(15)各通過一個X軸直線電機線圈座(14)安裝在X軸溜板(11)上，所述的X軸溜板(11)滑動設置在花崗巖底座(6)上面，所述的Y軸導軌座(33)固定在兩個X軸直線電機線圈座(14)上面，Y軸導軌座(33)與X軸溜板(11)制為一體，Y軸導軌座(33)中部沿Y軸方向設有通槽，所述的Y軸光柵尺(13)安裝在Y軸導軌座(33)的通槽內，Y軸導軌座(33)的通槽內的兩端各固定有一個支架，每個支架上安裝有一個Y軸限位組件(10)，所述的兩個Y軸直線電機定子(12)固定在X軸溜板(11)上，工作時，X軸溜板(11)在兩個X軸直線電機線圈(15)的作用下實現往復運動，并通過四個X軸限位組件(9)對X軸溜板(11)機械位置進行限位；

所述的兩個Y軸直線電機線圈(18)各通過一個Y軸直線電機線圈座(17)與Y軸溜板(16)相對應側面連接，所述的Y軸溜板(16)滑動設置在Y軸導軌座(33)上面；所述的Z軸精密升降臺(4)固定在Y軸溜板(16)上面。

2.根據權利要求1所述的一種用于快速頻繁啟停的超精密三軸調整裝置，其特征在于：所述的Z軸精密升降臺4包括升降臺上板(19)、上交叉滾柱導軌(20)、楔形塊(21)、Z軸光柵尺(24)、Z軸光柵尺座(25)、下交叉滾柱導軌(27)、減速器座(28)、諧波減速器(29)、伺服電機(30)、升降臺下板(31)、滾珠絲杠系統(32)、四個導柱(22)、四個自潤滑直線軸承(23)及四個直線軸承座(26)；

所述的楔形塊21通過上交叉滾柱導軌(20)、下交叉滾柱導軌(27)分別與升降臺上板(19)、升降臺下板(31)相連接，所述的滾珠絲杠系統(32)與楔形塊(21)緊固連接，所述的四個直線軸承座(26)安裝在升降臺下板(31)上面，每個所述的直線軸承座(26)上面均安裝有一個所述的自潤滑直線軸承(23)，安裝在所述的升降臺上板(19)下面的四個導柱(22)與四個自潤滑直線軸承(23)做相對運動，所述的減速器座(28)安裝在升降臺下板(31)上，所述的諧波減速器(29)安裝在減速器座(28)上，所述的滾珠絲杠系統(32)通過諧波減速器(29)與伺服電機(30)連接，所述的Z軸光柵尺座(25)安裝在升降臺下板(31)上面，所述的Z軸光柵尺(24)安裝在Z軸光柵尺座(25)上，所述的升降臺下板(31)與Y軸溜板(16)上面固定連接。