[發明專利]一種一鍵式激活數據收集項目的方法

有效

• 申請號: 201711192842.1
• 申請日: 2017-11-24
• 公開（公告）號: CN107886305B
• 公開（公告）日: 2020-12-25
• 發明（設計）人: 朱燕萍;邵雄
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G06Q10/10
• 分類號: G06Q10/10;G06Q10/00;G06Q50/04
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 嚴羅一

1.一種一鍵式激活數據收集項目的方法，其特征在于：包括

步驟S1：對集成電路制造過程和器件的制造過程中的工藝項目進行量測；

步驟S2：將量測后的修正的工藝規格數據輸入工藝項目并更新完畢；

步驟S3：將維護后的工藝項目的信息更新到總控制臺；

步驟S4：在與所有工藝項目相連的總控制臺處選擇維護后的工藝項目；

步驟S5：選定多個維護后的工藝項目后，點擊凍結激活按鍵；

步驟S6：總控制臺一次性向選定的多個維護后的工藝項目發出凍結激活指令；

步驟S7：選定的多個維護后的工藝項目收到凍結激活指令，執行凍結激活程序。

2.根據權利要求1所述的一鍵式激活數據收集項目的方法，其特征在于：所述步驟S4中的選定維護后的工藝項目的具體工藝流程為：

步驟S41：在操作面板上選擇項目名稱或數據維護人員菜單；

步驟S42：進入項目名稱或數據維護人員菜單后點選維護后的工藝項目。

3.根據權利要求1所述的一鍵式激活數據收集項目的方法，其特征在于：步驟S3中所述維護后的工藝項目的信息包括工藝項目的具體運行時間、轉速、溫度、大氣壓數據。

4.根據權利要求1所述的一鍵式激活數據收集項目的方法，其特征在于：步驟S3中所述維護后的工藝項目的信息還包括具體的維護時間信息。

5.根據權利要求2所述的一鍵式激活數據收集項目的方法，其特征在于：步驟S42中所述數據維護人員菜單下的維護后的工藝項目以維護時間分類。

6.根據權利要求2所述的一鍵式激活數據收集項目的方法，其特征在于：所述步驟S42中所述項目名稱菜單下的維護后的工藝項目以維護時間分類。

7.根據權利要求2所述的一鍵式激活數據收集項目的方法，其特征在于：所述步驟S42中所述項目名稱菜單下的維護后的工藝項目以工藝種類進行分類。

8.根據權利要求2所述的一鍵式激活數據收集項目的方法，其特征在于：所述步驟S42中所述項目名稱菜單下的維護后的工藝項目以首字母名稱進行分類。