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[發明專利]具有抽真空的雙膜片和真空監控裝置的隔膜密封組件有效

專利信息
申請號: 201711191369.5 申請日: 2017-11-24
公開(公告)號: CN108240885B 公開(公告)日: 2021-10-15
發明(設計)人: 約阿希姆·齊普;烏多·羅桑伯格;托爾斯滕·鮑林;海科·克恩;阿爾布雷克特·卡利施;烏多·霍寧 申請(專利權)人: WIKA亞歷山大·威甘德歐洲股份兩合公司
主分類號: G01L19/06 分類號: G01L19/06
代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332 代理人: 王瑞朋;王朝輝
地址: 德國克*** 國省代碼: 暫無信息
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摘要:
搜索關鍵詞: 具有 真空 膜片 監控 裝置 隔膜 密封 組件
【權利要求書】:

1.一種隔膜密封組件(1),具有:

基體(10),其具有至少一個第一膜片(31;31A)和第二膜片(32;32A),

第一測量儀器(MG),用于監控過程介質的壓力,以及

第二測量儀器(LEG),其中

所述第一膜片(31;31A)朝向要監控的過程介質,

所述第二膜片(32;32A)朝向流體填充的壓力路徑(50),以及

在所述第一膜片(31;31A)和所述第二膜片(32;32A)之間構成中間空間(51),其中所述中間空間(51)是被抽真空的并且所述第二測量儀器(LEG)監控在所述中間空間(51)中存在的真空,

其特征在于,

圍繞所述第一膜片(31;31A)的外邊緣但是在第二膜片(32;32A)的外邊緣之內安置有圓形的環形通道。

2.根據權利要求1所述的隔膜密封組件(1),

其中在所述基體(10)中設置有凹進部,以便在所述基體(10)中設置至少兩個凹進部臺階,所述凹進部臺階通過預定的最小間距、臺階高度(H)彼此間隔開并且用于設置所述第一膜片(31;31A)和第二膜片(32;32A),其中所述第一膜片(31;31A)的外邊緣設置在一個凹進部臺階上而所述第二膜片(32;32A)的外邊緣設置在另一凹進部臺階上。

3.根據權利要求2所述的隔膜密封組件(1),

其中在兩個膜片或焊接條之間的預定的最小間距為0.02mm-1.5mm。

4.根據權利要求2所述的隔膜密封組件(1),

其中在兩個膜片之間的最小間距通過凹進部臺階尺寸(H)限定,該凹進部臺階尺寸比所述第二膜片(32)的厚度(d)大0.05mm-1.5mm。

5.根據權利要求2所述的隔膜密封組件(1),

其中所述預定的最小間距通過在所述膜片(32)的膜片厚度(d)和所述凹進部臺階的尺寸之間的差來形成,所述差在0.01mm-1.2mm的范圍內。

6.根據權利要求2至5中任一項所述的隔膜密封組件(1),

其中所述第一膜片(31A)和所述第二膜片(32A)構建為管式膜片形式并且所述第一膜片(31A)設置在所述第二膜片(32A)之內,其中所述第一膜片(31A)的外邊緣是所述第一膜片的外環周,而所述第二膜片(32A)的外邊緣是所述第二膜片的外環周,并且其中所述第一膜片(31A)的外環周和所述第二膜片(32A)的外環周通過預定的最小間距來間隔開。

7.根據權利要求2至5中任一項所述的隔膜密封組件(1),

其中所述基體(10)還具有與所述第二測量儀器(LEG)流體連接的槽(40),所述槽設置在所述第二膜片(32)的凹進部臺階中并且橫向上在所述第二膜片(32)的外邊緣之外。

8.根據權利要求1至5中任一項所述的隔膜密封組件(1),

其中所述第二測量儀器(LEG)和在所述第一膜片(31;31A)和所述第二膜片(32;32A)之間的中間空間(50)通過通道(25,26;25C,26;25A;25A,25B,26)流體連接,并且其中抽真空接頭(41)與所述通道(25,26;25C,26;25A;25A,25B,26)氣密地連接,所述抽真空接頭(41)雙重氣密地封閉。

9.根據權利要求1至5中任一項所述的隔膜密封組件(1),

其中閥和/或膜裝置集成在所述通道(25,26;25C,26;25A;25A,25B,26)中,所述閥和/或膜裝置保護第二測量儀器(LEG)在泄漏情況下以免過壓。

10.根據權利要求1至5中任一項所述的隔膜密封組件(1),

其中所述膜片(31;31A;32;32A)具有0.01mm-0.5mm的厚度,和/或所述膜片(31;31A;32;32A)波形地構成,具有0.5mm-20mm的波長,和0.1mm-2.0mm的雙倍的幅度,或臺階形地構成,具有0.5mm-20mm的臺階間距。

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