[發明專利]一種進氣機構

有效

• 申請號: 201711187822.5
• 申請日: 2017-11-24
• 公開（公告）號: CN109837527B
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發明（設計）人: 王洪彪;蘭云峰;王勇飛
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;F16K24/06
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 陶金龍;張磊

1.一種進氣機構，用于向腔室內通入反應氣體，所述進氣機構包括源進氣塊，所述源進氣塊設于腔室側壁上方的凹槽內，所述源進氣塊的上表面上和所述腔室側壁的上表面上覆蓋有上蓋，且所述上蓋至少部分覆蓋所述源進氣塊和所述腔室側壁，所述源進氣塊與上蓋之間、上蓋與腔室側壁之間均采用密封圈進行密封，其特征在于，所述源進氣塊的下表面與所述凹槽底面之間設有彈性組件，通過調整所述彈性組件的壓縮量，以調整所述源進氣塊與上蓋之間密封圈表面的壓力，實現源進氣塊與上蓋、上蓋與腔室側壁之間的密封；所述彈性組件包括彈性元件和壓桿，所述壓桿活動設于源進氣塊中，所述壓桿的下表面與彈性元件的上端接觸，所述彈性元件的下端與所述凹槽的底面接觸，所述壓桿在所述源進氣塊中上下運動，以調整彈性元件的壓縮量。

2.根據權利要求1所述的進氣機構，其特征在于，所述壓桿與源進氣塊之間采用螺紋配合。

3.根據權利要求2所述的進氣機構，其特征在于，所述壓桿的下表面上以及所述凹槽底面上分設有彈性元件限位槽，以防止彈性元件發生側向移動。

4.根據權利要求1-3任意一項所述的進氣機構，其特征在于，所述彈性元件為壓縮彈簧。

5.根據權利要求4所述的進氣機構，其特征在于，所述壓桿相對于所述源進氣塊上下運動的距離大于2mm。

6.根據權利要求1所述的進氣機構，其特征在于，所述源進氣塊與所述凹槽之間設有垂直導向機構。

7.根據權利要求6所述的進氣機構，其特征在于，所述垂直導向機構為相配合的銷軸和銷孔、相配合的導軌和滑臺或相配合的直線軸承和軸。

8.根據權利要求1所述的進氣機構，其特征在于，所述源進氣塊與所述凹槽之間設有等高限位機構。

9.根據權利要求8所述的進氣機構，其特征在于，所述等高限位機構包括穿設于源進氣塊中的等高限位螺釘和設于所述凹槽底面上并與等高限位螺釘相配合的螺孔。