[發(fā)明專利]一種高純鋁旋轉(zhuǎn)靶材的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711187569.3
• 申請(qǐng)日: 2017-11-24
• 公開（公告）號(hào): CN107953084B
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周紀(jì)平;文宏福
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 韶關(guān)市歐萊高新材料有限公司;東莞市歐萊濺射靶材有限公司
• 主分類號(hào): B23P15/00
• 分類號(hào): B23P15/00
• 代理公司: 廣州駿思知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44425
• 代理人: 吳靜芝

1.一種高純鋁旋轉(zhuǎn)靶材的制造方法，其特征在于：包括以下步驟：

S1：選取鋁含量為99.999％～99.9995％的高純鋁圓錠為靶材原料，對(duì)其進(jìn)行熱穿孔擠壓處理，得到高純鋁管坯；

S2：對(duì)步驟S1所得高純鋁管坯進(jìn)行矯直處理；

S3：對(duì)步驟S2矯直處理后的高純鋁管坯進(jìn)行退火處理；

S4：選取鋁合金為靶材端頭材料，對(duì)其進(jìn)行表面硬質(zhì)氧化處理，得到鋁合金端頭；

S5：將步驟S3退火處理后的高純鋁管坯與步驟S4所得鋁合金端頭進(jìn)行焊接，得到高純鋁旋轉(zhuǎn)靶材；

步驟S1中，所述熱穿孔擠壓處理包括：對(duì)高純鋁圓錠進(jìn)行加熱，加熱溫度為150～400℃，保溫時(shí)間為0.5～2.0小時(shí)，獲得高純鋁坯料；在進(jìn)行擠壓前，對(duì)擠壓模具、擠壓筒和穿針孔進(jìn)行預(yù)熱，擠壓筒和擠壓模具的預(yù)熱溫度均為300～350℃，穿孔針的預(yù)熱溫度為100～350℃；并在擠壓針、穿針孔表面噴涂潤(rùn)滑劑，潤(rùn)滑劑選用飽和濃度的工業(yè)食鹽水、水基和油基氮化鈦漿料、或石墨粉與礦物油均勻混合而成的粘稠漿料；對(duì)所述高純鋁坯料進(jìn)行穿孔，穿孔溫度為150～400℃，穿孔直徑為120～130mm，并以5～50mm/s的擠壓速度進(jìn)行擠壓，擠壓溫度為150～400℃，擠壓比為8～30，獲得高純鋁無縫管坯；

步驟S3中，所述退火處理的退火溫度為150～350℃，保溫時(shí)間為3～10小時(shí)；

步驟S5中，所述焊接采用電子束焊接、激光焊接或摩擦攪拌焊接，焊縫寬度為4～10mm,焊縫區(qū)域相對(duì)于焊接位置左右對(duì)稱，焊縫深度為4～10mm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純鋁旋轉(zhuǎn)靶材的制造方法，其特征在于：步驟S2中，所述矯直處理為依次進(jìn)行輥式矯直和拉伸矯直，經(jīng)過所述矯直處理后的高純鋁管坯的彎曲度小于1mm/m。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純鋁旋轉(zhuǎn)靶材的制造方法，其特征在于：步驟S4中，所述鋁合金為鋁鎂合金或鋁鎂硅合金；所述鋁鎂合金中鎂含量為3～5％；所述鋁鎂硅合金中鎂和硅含量分別為3～5％和4.5～6％。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純鋁旋轉(zhuǎn)靶材的制造方法，其特征在于：所述制造方法還包括步驟S6：對(duì)步驟S5所得高純鋁旋轉(zhuǎn)靶材進(jìn)行機(jī)加工處理。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高純鋁旋轉(zhuǎn)靶材的制造方法，其特征在于：所述制造方法還包括步驟S7：對(duì)步驟S6機(jī)加工處理后的高純鋁旋轉(zhuǎn)靶材進(jìn)行清洗，然后真空包裝。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高純鋁旋轉(zhuǎn)靶材的制造方法，其特征在于：步驟S5進(jìn)行焊接前，對(duì)步驟S3退火處理后的高純鋁管坯進(jìn)行探傷檢測(cè)和氣密性檢測(cè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的高純鋁旋轉(zhuǎn)靶材的制造方法，其特征在于：利用超聲波無損探傷進(jìn)行探傷檢測(cè)，利用氦質(zhì)譜測(cè)漏儀進(jìn)行氣密性檢測(cè)。