[發明專利]同批次制備多種不同成分含量的合成材料的方法在審
| 申請號： | 201711183055.0 | 申請日： | 2017-11-23 |
| 公開（公告）號： | CN108193175A | 公開（公告）日： | 2018-06-22 |
| 發明（設計）人： | 胡凱;張曉軍;辛安玲玲 | 申請（專利權）人： | 深圳市矩陣多元科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/04 |
| 代理公司： | 深圳市華優知識產權代理事務所(普通合伙) 44319 | 代理人： | 余薇 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市南山區西*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 靶材 合成材料 基板 激光射線 濺射 制備 照射 發射激光射線 激光發生器 靶材原子 分時切換 真空條件 激光器 可調 正對 沉積 激光 聚焦 | ||
1.一種同批次制備多種不同成分含量的合成材料的方法，其特征在于，包括：
提供激光發生器，并以指定強度發射激光射線；
在真空條件下，控制所述激光射線依次循環向預先準備的不同位置的多種具有不同材料成分的靶材聚焦并照射指定時間間隔；其中，所述多種靶材的材料為所述合成材料的組成成分；
提供一正對所述靶材設置的基板，所述靶材經激光射線照射后濺射出靶材原子，并沉積到所述基板上，且使所述基板上形成的每種材料具有相同的多種組分并且每種組分含量比值不同。
2.根據權利要求1所述的同批次制備多種不同成分含量的合成材料的方法，其特征在于，在使所述靶材原子沉積到所述基板上的步驟之后，還包括步驟：
在所述靶材和所述基板之間設置一掩膜板，所述靶材原子在向所述基板沉積的過程中，經所述掩膜板的作用而在基板上規則排布。
3.根據權利要求1所述的同批次制備多種不同成分含量的合成材料的方法，其特征在于，在控制所述激光射線依次循環向預先準備不同位置的多種靶材聚焦并照射指定時間間隔的步驟中，包括步驟：
設定激光射線向所述靶材照射的循環照射順序及在每種靶材上聚焦并照射的時間間隔；
按照預設條件，以相同強度的激光射線對所述靶材進行指定時間的循環聚焦。
4.根據權利要求1所述的同批次制備多種不同成分含量的合成材料的方法，其特征在于，在靠近所述基板的位置設置加熱器，通過加熱使所述靶材原子在所述基板表面擴散。
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