[發明專利]一種銀納米線微圖案化的制備方法

有效

• 申請號: 201711181702.4
• 申請日: 2017-11-23
• 公開（公告）號: CN107999742B
• 公開（公告）日: 2019-10-18
• 發明（設計）人: 董華;曹曉東;肖文武
• 申請（專利權）人: 華南理工大學
• 主分類號: B22F1/00
• 分類號: B22F1/00;B22F9/24;B82Y40/00;G03F7/00
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 何淑珍

1.一種銀納米線微圖案化的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：a.光刻：將硅片依次進行勻膠、甩膠、前烘、曝光、后烘、顯影；b.翻模到PDMS：將光刻后的硅片放在模具中，倒入PDMS和固化劑，再放在加熱板上加 熱，剝離得到PDMS印章；c.翻模到瓊脂水凝膠：將得到的PDMS印章分別用丙酮和異丙醇清洗，再用氧氣等離子體處理，然后放入模具中，再將濃度為6-10%瓊脂溶液倒入模具中，固化成型后切塊，再放入濃度為40-60% 的硝酸鐵溶液中浸泡以充分吸取硝酸鐵溶液，得到帶有微圖案的瓊脂塊；d.銀納米線的制備：攪拌下，將乙二醇加熱至150-200℃，恒溫1-1.5h再分別加入硝酸銀溶液和PVP溶液反應，反應后冷卻、洗滌、離心、分散在乙醇中，得到銀納米線乙醇分散液；e.銀納米線的旋涂：將銀納米線乙醇分散液滴在洗凈的玻璃片上用旋涂儀旋涂；f.圖案的刻蝕：用鑷子將帶有微圖案的瓊脂塊取出，放在濾紙上晾干，然后將旋涂后的玻璃片和瓊脂有圖案的一面接觸，剝離即可得到所需要的圖案。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟a中，所述甩膠的轉速為1000-1300 r/min；所述勻膠的速度為500-600r/min；所述前烘的溫度為60-80℃和130-150℃，時間均為5-10分鐘；所述后烘的溫度為60-80℃，時間為5-10分鐘。

3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟b中，所述的PDMS和固化劑的質量比為（8-10）：1；所述加熱的溫度為40-60℃，加熱的時間為4-8小時。

4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟b和步驟c中，所述模具為鋁箔紙放置在細菌培養皿上疊成的圓形盒子。

5.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟c中，所述氧氣等離子體處理的時間為5-10分鐘；所述浸泡至少12小時。

6.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟d中，所述硝酸銀溶液的濃度為0.2-0.4M；所述PVP溶液的濃度為22.2-30mg/ml。

7.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟d中，所述反應的時間為2-3h。

8.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟e中，所述銀納米線乙醇分散液的濃度為1.0-1.5mg/ml，旋涂的速度為800-1000r/min , 旋涂的時間為10-20s。

9.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟f中，所述接觸的時間為10-15s。