[發明專利]表面沉積粒子的實時累計測定及圖像分析裝置

在審

• 申請號: 201711170426.1
• 申請日: 2017-11-22
• 公開（公告）號: CN108106974A
• 公開（公告）日: 2018-06-01
• 發明（設計）人: 李中善;李浩晳
• 申請（專利權）人: 李中善;李浩晳
• 主分類號: G01N15/02
• 分類號: G01N15/02
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327
• 代理人: 姜虎;陳英俊

本發明一實施例的表面沉積粒子的實時累計測定及圖像分析裝置包括：灰塵粒子拍攝部，拍攝灰塵粒子，并傳送圖像；圖像分類部，對從所述灰塵粒子拍攝部接收的圖像進行處理，對所述灰塵粒子的數量、大小進行分類并進行傳送；以及控制器，若從所述圖像分類部接收的所述數量、大小大于預先設定的基準數量、大小，則輸出提示信號，所述灰塵粒子拍攝部包括：工作臺，具有黏性，用于收集落下的灰塵粒子，以防止所述灰塵粒子掉落；光源，在所述工作臺的兩側面以–45度至+45度照射光；以及攝像頭，在所述工作臺的上部面或下部面拍攝集塵于所述工作臺的灰塵粒子。

技術領域

本發明的多種實施例涉及表面沉積粒子的實時累計測定及圖像分析裝置。

背景技術

在包括半導體、顯示器(例如，液晶顯示器(LCD)、有機發光二極管(OLED)等)的需要清凈空間的精密部件加工產業中廣泛使用的無人自動生產線中，產品的移動及用于移動產品的各種機器人的移動包括以構成多個裝置的結構物為主軸的金屬性原材料、塑料等器具、用于驅動這些的馬達、軸和軸承等，以及對它們分別進行電連接的電纜(cable)及包圍所述電纜的電纜拖鏈(cable veyor)等。

通常情況下，這些裝置為了生產產品而需要進行持續的移動，而在這種過程中產生成為產品不良原因的大量的灰塵粒子。

因此，通常的這種自動生產裝置需要無灰塵粒子的清凈的空間，因而在自動生產裝置內設置被稱為HEPA(高效空氣過濾器)或ULPA(超高效空氣過濾器)的空氣凈化過濾器(filter)。

以往需要高清潔度的作業現場或自動化的生產設備內的發生型粒子測定設備使用光散射方式或吸收光方式，所述光散射方式或吸收光方式為在向透射激光(laser)的規定的密封區域吸入空氣后，經過產生激光光線或規定的單一波長的光線區域，并使借助經過光線波束區(zone)的灰塵粒子反射的反射光放大為電信號來進行測定或使所吸收的光的量放大為電信號來進行測定的方式。

有報告指出，一般情況下，在吸收浮在空氣中的浮游粒子來進行測定的現有的方式中，雖然會因落在實際生產的產品而帶來影響，但也有很多情況下不會帶來影響，并且，也存在因吸引力而吸入存在于與產品相隔開的區域的灰塵粒子的諸多事例，因此，普遍存在無法以相關系數說明自動化的生產設備的狀態監測或產品不良率的情況。

公開于成為這種發明的背景的技術中的所述信息僅用于提高對本發明的背景的理解度，因此，也可以包含不構成現有技術的信息。

發明內容

本發明的多種實施例所要解決的問題在于，提供表面沉積粒子的實時累計測定及圖像分析裝置。具體說明如下，本發明的多種實施例所要解決的問題在于，提供表面沉積粒子的實時累計測定及圖像分析裝置，所述表面沉積粒子的實時累計測定及圖像分析裝置的差別化的特征在于，針對普遍發生于半導體、顯示器或與此類似水準的超精密尖端部件、由灰塵粒子引起不良的作業現場及自動化生產設備的運行過程中并重新附著于產品的表面來提高不良率的發生型灰塵粒子，第一，對所述發生型灰塵粒子所掉落的表面進行實時監測，第二，對灰塵粒子的大小/數量進行分類，第三，使灰塵粒子的形狀實現圖像化，第四，自行設定提示，從而在發生或監測(monitoring)到基準值以上的灰塵粒子的情況下，輸出警報提示信號，第五，向生產設備輸出聯鎖信號，以對設備進行預防整頓，從而使用為可降低產品不良率的輔助裝置。

本發明的多種實施例的表面沉積粒子的實時累計測定及圖像分析裝置包括：灰塵粒子拍攝部，拍攝灰塵粒子，并傳送圖像；圖像分類部，對從所述灰塵粒子拍攝部接收的圖像進行處理，對所述灰塵粒子的數量、大小進行分類并進行傳送；以及控制器，若從所述圖像分類部接收的所述數量、大小大于預先設定的基準數量、大小，則輸出提示信號，所述灰塵粒子拍攝部包括：工作臺，具有黏性，用于收集落下的灰塵粒子，以防止所述灰塵粒子掉落；光源，在所述工作臺的兩側面以－45度至+45度照射光；以及攝像頭，在所述工作臺的上部面或下部面拍攝集塵于所述工作臺的灰塵粒子。