[發明專利]光學式位移傳感器以及具備此光學式位移傳感器的系統

有效

• 申請號: 201711162785.2
• 申請日: 2017-11-20
• 公開（公告）號: CN108458660B
• 公開（公告）日: 2020-03-27
• 發明（設計）人: 近藤智則
• 申請（專利權）人: 歐姆龍株式會社
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 馬爽;臧建明

本發明提供一種能夠根據用戶的用途來設定最佳曝光時機的光學式位移傳感器以及具備此光學式位移傳感器的系統。光學式位移傳感器(3)具備：投光部(33)，對工件(51)進行投光；受光部(34)，接收來自工件(51)的反射光而生成受光數據；處理部(32)，基于受光數據來算出工件(51)的位移量；輸入部(35)，接收時間同步信號；以及輸出部(36)，輸出由處理部(32)所算出的位移量。處理部(32)響應由輸入部(35)所接收的時間同步信號，對曝光時間進行控制，所述曝光時間是由投光部(33)對工件(51)進行投光的時間、與受光部(34)接收反射光的時間的重合而定。系統(100)具備光學式位移傳感器(3)、及產生時間同步信號的控制設備(1)。

技術領域

本發明涉及一種光學式位移傳感器(sensor)以及包含此光學式位移傳感器的系統(system)。

背景技術

已知有對目標位移(移動量或者尺寸等)進行光學測定的光學式位移傳感器。例如日本專利特開2001-280951號公報(專利文獻1)揭示了一種光學式位移傳感器，其具備投光部件和受光部件與運算部件。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2001-280951號公報

發明內容

[發明所要解決的問題]

日本專利特開2001-280951號公報(專利文獻1)中揭示的光學式位移傳感器是自由運行(free run)地執行計測。根據用戶的用途，認為存在用于計測的曝光的最佳時機(timing)。然而，所述傳感器中，無法以與用戶的用途相應的適當的時機來對計測對象物進行曝光。

本發明的目的在于提供一種能夠根據用戶的用途來設定最佳曝光時機的光學式位移傳感器以及包含此種光學式位移傳感器的系統。

[解決問題的技術手段]

本發明的一方面的光學式位移傳感器包括：投光部，對計測對象物進行投光；受光部，接受來自計測對象物的反射光而生成受光數據；處理部，基于受光數據來算出計測對象物的位移量；輸入部，接收時間同步信號；以及輸出部，輸出由處理部所算出的位移量。處理部響應由輸入部所接收的時間同步信號，對曝光時間進行控制，所述曝光時間是由投光部對計測對象物進行投光的時間、與受光部接受反射光的時間的重合而定。

優選的是，處理部使曝光時間的開始時機與位移量的測定周期的開始時機一致。

優選的是，處理部使曝光時間的結束時機與位移量的測定周期的結束時機一致。

優選的是，處理部使曝光時間的中心時機與位移量的測定周期的中心時機一致。

優選的是，輸入部受理與曝光時間的控制相關的用戶設定，處理部基于設定來選擇多個控制中的一個控制，所述多個控制包含第1控制、第2控制或第3控制中的至少兩個，所述第1控制是使曝光時間的開始時機與位移量的測定周期的開始時機一致，所述第2控制是使曝光時間的結束時機與測定周期的結束時機，所述第3控制是使曝光時間的中心時機與測定周期的中心時機一致。

本發明的一方面的系統包括：根據所述任一項所述的、至少一個光學式位移傳感器；以及控制設備，產生時間同步信號。

優選的是，至少一個光學式位移傳感器包含第1光學式位移傳感器與第2光學式位移傳感器。第1光學式位移傳感器的投光部及受光部是夾著計測對象物而與第2光學式位移傳感器的投光部及受光部相向配置。第1光學式位移傳感器及第2光學式位移傳感器各自的處理部使曝光時間的中心時機與位移量的測定周期的中心時機一致。

[發明的效果]

根據本發明，可提供一種能夠根據用戶的用途來設定最佳曝光時機的光學式位移傳感器以及系統。

附圖說明