[發明專利]一種絨面透明導電薄膜及其制備方法

有效

• 申請號: 201711162186.0
• 申請日: 2017-11-21
• 公開（公告）號: CN107994098B
• 公開（公告）日: 2019-12-24
• 發明（設計）人: 任洋;周曉歌;趙高揚
• 申請（專利權）人: 西安理工大學
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0224;H01L31/0236
• 代理公司: 61214 西安弘理專利事務所
• 代理人: 胡燕恒

1.一種絨面透明導電薄膜，其特征在于，以石英玻璃為基底，在基底上依次沉積有Pt層、TiO₂薄膜層及FTO薄膜層，形成的FTO/TiO₂/Pt復合薄膜作為薄膜太陽電池的前電極；

Pt層的厚度為5nm～9nm，TiO₂薄膜層的厚度為50nm～110nm，FTO薄膜層的厚度為400nm～650nm。

2.一種絨面透明導電薄膜的制備方法，其特征在于，具體步驟如下：

步驟1，在不高于100℃的條件下采用磁控濺射技術，在石英玻璃襯底上沉積Pt層；

步驟2，制備噴涂液A；

步驟3，通過噴霧熱解工藝將噴涂液A噴涂在Pt層上得到TiO₂薄膜層，對制備的TiO₂薄膜層進行退火處理，得到緩沖層；

步驟4，制備噴涂液B；

步驟5，通過噴霧熱解工藝將噴涂液B噴涂在緩沖層上得到FTO薄膜層，然后經退火處理最終得到作為薄膜太陽電池前電極的絨面透明導電薄膜；

步驟1中磁控濺射鍍Pt層的工藝條件為：磁控濺射的時間為1h～2h；磁控濺射的功率為100w～150w；磁控濺射的模式為RF濺射；真空度為8.0×10^-2Pa；氬氣分壓為1Pa。

3.根據權利要求2所述的一種絨面透明導電薄膜的制備方法，其特征在于，步驟2中噴涂液A的制備方法為：首先，在干燥氮氣氣氛下，將分別鈦酸四丁酯和乙酰丙酮溶于無水乙醇中，常溫下攪拌2h，得混合溶液，然后密閉靜置進行成膠化處理，最后得噴涂液A。

4.根據權利要求3所述的一種絨面透明導電薄膜的制備方法，其特征在于，步驟2中，制備噴涂液A的原料中的鈦酸四丁酯、乙酰丙酮及無水乙醇的摩爾比為：1:1～1.5:10～50。

5.根據權利要求2所述的一種絨面透明導電薄膜的制備方法，其特征在于，步驟3中噴霧熱解工藝的工藝條件為：載氣壓力為0.1MPa～0.15MPa，超聲頻率為2.4MHz，功率為100W～300W，超聲噴霧噴槍嘴與玻璃基板距離為3cm～10cm，噴涂時間為30s～60s，熱解溫度為500℃～580℃。

6.根據權利要求2所述的一種絨面透明導電薄膜的制備方法，其特征在于，步驟5中噴霧熱解工藝的工藝條件為：載氣壓力為0.1MPa～0.3MPa，超聲頻率為2.4MHz，功率為100W～300W，超聲噴霧噴槍嘴與玻璃基板距離為3cm～10cm，噴涂時間為1min～3min，熱解溫度為520℃～600℃。