[發明專利]物料固持裝置及物料檢測方法有效
| 申請號： | 201711160596.1 | 申請日： | 2017-11-20 |
| 公開（公告）號： | CN109807767B | 公開（公告）日： | 2021-11-05 |
| 發明（設計）人： | 盧彧文;王璟;周暢;廖飛紅;徐健 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備（集團）股份有限公司 |
| 主分類號： | B25B11/00 | 分類號： | B25B11/00;G01D21/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 物料 裝置 檢測 方法 | ||
1.一種物料檢測方法，其特征在于，包括：
步驟a：采用物料固持裝置對物料進行固持；其中，所述料固持裝置包括定位板、物料固定機構、轉接板卡、底座、通用接口，所述定位板設置在所述底座之上，
其中所述底座設置有通用接口，以實現與外部檢測設備對接；
所述轉接板卡用于將物料的檢測接口與外部檢測設備進行連接；
所述物料固定機構設置在所述底座上；
步驟b：將固持有物料的物料固持裝置通過所述通用接口與外部檢測設備連接；
步驟c：在檢測完成后將所述通用接口與所述外部檢測設備斷開；
步驟d：通過傳輸設備將固持所述物料的所述物料固持裝置移動到另一檢測工位處進行檢測。
2.根據權利要求1所述的物料檢測方法，其特征在于，在對多個物料進行檢測時，提供對應多個物料固持裝置，并且分別對多個物料進行固持操作，在一個夾持有物料的物料固持裝置在一檢測工位檢測完畢移動到下一檢測工位進行檢測時，將另一個裝有物料的物料固持裝置連接到所述檢測工位進行檢測。
3.根據權利要求1所述的物料檢測方法，其特征在于，所述物料固定機構包括夾頭機構和/或吸盤，所述吸盤用于吸附物料，所述夾頭機構設置在所述吸盤的周圍并且用于將所述物料夾緊在所述吸盤上。
4.根據權利要求3所述的物料檢測方法，其特征在于，所述夾頭機構包括夾頭、氣缸、氣缸活塞、彈性構件、力傳感器、調節構件、以及壓力傳感器，所述壓力傳感器連接至調節構件，所述壓力傳感器連接所述彈性構件的一端，所述夾頭連接氣缸活塞并且在所述氣缸活塞的帶動下運動。
5.根據權利要求4所述的物料檢測方法，其特征在于，所述彈性構件是彈簧。
6.根據權利要求4所述的物料檢測方法，其特征在于，所述調節構件是調節螺桿。
7.根據權利要求4所述的物料檢測方法，其特征在于，通過調節所述調節構件來調節所述夾頭的夾持力度。
8.根據權利要求1所述的物料檢測方法，其特征在于，所述轉接板卡設置在所述底座內部。
9.根據權利要求1所述的物料檢測方法，其特征在于，所述定位板的尺寸和型號與物料的尺寸或材料保持一致。
10.根據權利要求9所述的物料檢測方法，其特征在于，通過將夾持有物料的物料固持裝置進行移動來對所述物料進行移動。
11.根據權利要求1所述的物料檢測方法，其特征在于，所述轉接板卡具有轉接板卡接口，用于與所述物料的檢測接口對接。
12.根據權利要求11所述的物料檢測方法，其特征在于，所述轉接板卡接口設置在物料固持裝置的左部或上部或右部或下部。
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