[發明專利]一種多功能的曝光機基臺的清洗裝置

在審

• 申請號: 201711154256.8
• 申請日: 2017-11-20
• 公開（公告）號: CN107748483A
• 公開（公告）日: 2018-03-02
• 發明（設計）人: 龐超群;陶薇
• 申請（專利權）人: 張家港奇點光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 南京蘇創專利代理事務所(普通合伙)32273
• 代理人: 曹成俊

1.一種多功能的曝光機基臺的清洗裝置，其特征在于，該多功能的曝光機基臺的清洗裝置，包括基臺本體(1)，安裝板(2)，清洗管裝置(3)，清掃刷裝置(4)，風干機裝置(5)，排水槽(6)，排水管(7)，HEPA濾網(8)和活性炭濾網(9)，所述的安裝板(2)焊接在基臺本體(1)的右側；所述的清洗管裝置(3)安裝在基臺本體(1)的上部右側；所述的清掃刷裝置(4)安裝在基臺本體(1)的上部左側；所述的風干機裝置(5)安裝在基臺本體(1)的右側；所述的排水槽(6)開設在基臺本體(1)的下部；所述的排水管(7)插接在排水槽(6)的左側；所述的清掃刷裝置(4)包括滑軌(41)，齒條(42)，傳動電機(43)，齒輪(44)，驅動電機(45)，旋轉軸(46)和清洗刷(47)，所述的齒條(42)焊接在滑軌(41)的內側下部；所述的傳動電機(43)設置在滑軌(41)內；所述的齒輪(44)焊接在傳動電機(43)的輸出軸上；所述的驅動電機(45)螺栓安裝在傳動電機(43)的下部；所述的旋轉軸(46)縱向安裝在驅動電機(45)的輸出軸上；所述的清洗刷(47)安裝在旋轉軸(46)的外側。

2.如權利要求1所述的多功能的曝光機基臺的清洗裝置，其特征在于，所述的清洗管裝置(3)包括儲水箱(31)，噴水管(32)，水泵(33)，抽水管(34)，電磁閥門(35)和噴水頭(36)，所述的噴水管(32)安裝在水泵(33)的左側；所述的水泵(33)安裝在儲水箱(31)的上部左側；所述的抽水管(34)設置在儲水箱(31)的內部，并與水泵(33)的入水口接通；所述的電磁閥門(35)安裝在噴水管(32)上；所述的噴水頭(36)安裝在噴水管(32)的下部。

3.如權利要求1所述的多功能的曝光機基臺的清洗裝置，其特征在于，所述的風干機裝置(5)包括抽風管(51)，風機固定框(52)，風機本體(53)，防塵網(54)和出風管(55)，所述的風機固定框(52)安裝在抽風管(51)的左側；所述的風機本體(53)安裝在風機固定框(52)的內部。

4.如權利要求3所述的多功能的曝光機基臺的清洗裝置，其特征在于，所述的防塵網(54)安裝在風機固定框(52)的右側。

5.如權利要求3所述的多功能的曝光機基臺的清洗裝置，其特征在于，所述的出風管(55)安裝在風機固定框(52)的左側。

6.如權利要求1所述的多功能的曝光機基臺的清洗裝置，其特征在于，所述的HEPA濾網(8)和活性炭濾網(9)分別安裝在排水槽(6)與排水管(7)的連接處。

7.如權利要求2所述的多功能的曝光機基臺的清洗裝置，其特征在于，所述的儲水箱(31)的前表面鑲嵌有觀察窗(311)。

8.如權利要求1所述的多功能的曝光機基臺的清洗裝置，其特征在于，所述的齒輪(44)與齒條(42)嚙合。